GB/T 12963-2014 电子级多晶硅
GB/T 12963-2014 Electronic-grade polycrystalline silicon
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
2014-12-31
实施日期
2015-09-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本标准规定了多晶硅的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、储存、质量证明书和订货单（或合同）内容。
本标准适用于以氯硅烷、硅烷制得的多晶硅。
本标准适用于以氯硅烷、硅烷制得的多晶硅。
发布历史
-
1996年11月
-
2009年10月
-
2014年12月
-
2022年12月
研制信息
- 起草单位：
- 峨嵋半导体材料研究所、四川新光硅业科技有限责任公司、有研半导体材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司
- 起草人：
- 詹科、杨旭、种娜、黎亚文、梁洪、孙燕、刘晓霞、银波、甘新业、严大洲
- 出版信息：
- 页数：6页 | 字数：8 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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