GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法
GB/T 4060-2007 Polycrystalline silicon—Examination method—Vacuum zone-melting on boron
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
2007-09-11
实施日期
2008-02-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
适用范围
本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基硼的检验。
本标准检测杂质浓度有效范围：0.002×10-9～100×10-9。
发布历史
-
1983年12月
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2007年09月
-
2018年09月
研制信息
- 起草单位：
- 峨眉半导体材料厂
- 起草人：
- 罗莉萍、梁洪、覃锐兵、王炎、王向东
- 出版信息：
- 页数：6页 | 字数：8 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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