GB/T 13389-2014 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

ICS29.045

H80

中华人民共和国国家标准

/—

GBT133892014

代替/—

GBT133891992

掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与

掺杂剂浓度换算规程

Practiceforconversionbetweenresistivitanddoantdensitforboron-doed,

ypyp

,

hoshorus-doedandarsenic-doedsilicon

pppp

2014-12-31发布2015-09-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—

GBT133892014

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

/—《》,

本标准代替GBT133891992掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程参照SEMI

《》/—。

MF723-0307掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程对GBT133891992进行修订

/—,:

本标准与GBT133891992相比主要有以下变化

———()、()、(),、

增加了公式567即砷的掺杂剂浓度换算电阻率掺硼硅单晶电阻率换算空穴浓度和

掺磷硅单晶电阻率换算电子浓度的公式以及相应的适用范围;

———,

由于所有公式都是经验公式或是试验结果因此本标准中给出了公式的试验依据以便于使用