GB/T 4061-1983 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
GB/T 4061-1983 Polycrystalline silicon—Examination method—Assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion
国家标准
中文简体
被代替
页数：3页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
1983-12-20
实施日期
1984-12-01
发布单位/组织
国家标准局
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
-
1983年12月
-
2009年10月
研制信息
- 起草单位：
- 峨嵋半导体材料厂
- 起草人：
- 赵祖培
- 出版信息：
- 页数：3页 | 字数：3 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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