GB/T 24582-2023 多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法

ICS77.040

CCSH17

中华人民共和国国家标准

/—

GBT245822023

代替/—

GBT245822009

多晶硅表面金属杂质含量测定

酸浸取电感耦合等离子体质谱法

-

Testmethodformeasurinsurfacemetalimuritcontentofolcrstalline

gpypyy

—

siliconAcidextraction-inductivelcouledlasmamasssectrometrmethod

ypppy

2023-08-06发布2024-03-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT245822023

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/—《》,

本文件代替酸浸取电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质与

GBT245822009-

/—,,:

GBT245822009相比除结构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

)(,);

更改了适用范围见第章年版的第章

a120091

)“”“”();

删除了术语与缩略语见年版的第章

b20093

)(,);

更改了方法原理见第章年版的第章

c420094

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