GB/T 24581-2022 硅单晶中Ⅲ、Ⅴ族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法

ICS77.040

CCSH17

中华人民共和国国家标准

/—

GBT245812022

代替/—

GBT245812009

硅单晶中、族杂质含量的测定

ⅢⅤ

低温傅立叶变换红外光谱法

TestmethodforⅢandⅤimuritiescontentinsinlecrstalsilicon—

pgy

LowtemeratureFT-IRanalsismethod

py

2022-03-09发布2022-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT245812022

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

本文件代替/—《低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中、族杂质含量的测

GBT245812009ⅢⅤ

》,/—,,:

试方法与GBT245812009相比除结构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

)“”();

删除了目的见年版的第章

a20091

)()、()、()、()、()、(),()

b更改了硼B磷P砷As铝Al锑Sb镓Ga的测定范围并增加了铟In含量的测

(,);

定见第章年版的第章

120092

)(,);

更改了术语和定义见第章年版的第章

c320095

)11-3();

d增加了杂质含量小于5.0×10cm的样品的测量条件见5.6

)(-1)()();

增加了用次强吸收谱带来计算磷元素的含量见

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