GB/T 29057-2012 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程

ICS29.045

H80

中华人民共和国国家标准

/—

GBT290572012

用区熔拉晶法和光谱分析法评价

多晶硅棒的规程

Practiceforevaluationofolocrstallinesiliconrodsbfloat-zone

pyy

crstalrowthandsectrosco

ygppy

(,)

SEMIMF1723-1104MOD

2012-12-31发布2013-10-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—

GBT290572012

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准修改采用国际标准SEMIMF1723-1104《用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规

》。,。

程为方便比较资料性附录中列出了本标准章条和对应的国际标准章条的对照一览表

A

。

本标准在采用SEMIMF1723-1104时进行了修改这些技术差异用垂直单线标识在它们所涉及

。:

的条款的页边空白处主要技术差异如下

———“”,,

在规范性引用文件中凡我国已有国家标准的均用相应的国家标准代替SEMIMF1723-

“”。

1104中的引用文件

———增加规范性引用文件/《硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法》。

GBT1553

———“……”“……”。

将中中规定的级改为中规定的级

6.2ISO14644-1ISO5GB500735

———“……”“……”。

将中中规定的级改为中规定的级

7.2.1ISO14644-1ISO6GB500736

———“……”“……”。

将