GB/T 29057-2023 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
GB/T 29057-2023 Practice for evaluation of polocrystalline silicon rods by float-zone crystal growth and spectroscopy
国家标准
中文简体
现行
页数：13页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 29057-2023
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2023-08-06
实施日期
2024-03-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本文件规定了多晶硅棒取样、将样品区熔拉制成单晶以及通过低温红外光谱法或光致发光光谱法对拉制好的单晶硅棒进行分析以确定多晶硅中施主、受主、代位碳和间隙氧杂质含量等的规程。本文件适用于评价硅芯上沉积生长的棒状多晶硅。
发布历史
-
2012年12月
-
2023年08月
研制信息
- 起草单位：
- 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、四川永祥新能源有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、江苏鑫华半导体科技股份有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、青海丽豪半导体材料有限公司、乐山市产品质量监督检验所、新疆协鑫新能源材料科技有限公司
- 起草人：
- 秦榕、薛心禄、李素青、王志强、万烨、贺东江、岳峥、张孝山、赵生良、郭光伟、陈雪刚、于生海、邓远红、王彬、邱艳梅、徐岩、刘国霞、万首正、田洪先、刘文明、赵小飞、梁洪、赵娟龙
- 出版信息：
- 页数：13页 | 字数：22 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS77.040
CCSH80
中华人民共和国国家标准
/—
GBT290572023
代替/—
GBT290572012
用区熔拉晶法和光谱分析法评价
多晶硅棒的规程
Practiceforevaluationofolocrstallinesiliconrodsbfloat-zone
pyy
crstalrowthandsectrosco
ygppy
2023-08-06发布2024-03-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—
GBT290572023
前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GBT1.120201
起草。
/—《》,
本文件代替GBT290572012用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程与
/—,,:
GBT290572012相比除结构调整和编辑性改动外主要技术变化如下
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删除了目的见年版的第章
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更改了范围见第章年版的第章
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将第章局限性改为第章干扰因素并完善了干扰因素内容见第章
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