GB/T 43662-2024 蓝宝石图形化衬底片

ICS29.045

CCSH83

中华人民共和国国家标准

/—

GBT436622024

蓝宝石图形化衬底片

Patternedsahiresubstrate

pp

2024-03-15发布2024-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT436622024

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)与全国半导体设备和材料标准

SACTC203

化技术委员会材料分技术委员会(//)共同提出并归口。

SACTC203SC2

:、、

本文件起草单位广东中图半导体科技股份有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司

()、、、

华灿光电浙江有限公司黄山博蓝特半导体科技有限公司北京大学东莞光电研究院云南蓝晶科技

、、、

有限公司南京理工宇龙新材料科技股份有限公司通辽精工蓝宝石有限公司苏州恒嘉晶体材料有限

公司。

:、、、、、、、、、、

本文件主要起草人张能贺东江张小琼李素青肖桂明王子荣朱广敏康凯刘建哲丁晓民

、、、、。

王新强何永杰戴生伢闫殿军徐永亮

Ⅰ

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GBT436622024

蓝宝石图形化衬底片

1范围

(“”)、、、、

本文件规定了蓝宝石图形化衬底片以下简称衬底的技术要求试验方法检验规则标志包

、、、。

装运输贮存随行文件和订货单内容

、、、。

本文件适用于蓝宝石图形化衬底片的研发生产测试检验及性能质量的评价

2规范性引用文件

。,

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

,;,()

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

本文件。

/—:()

计数抽样检验程序第部分按接收质量限检索的逐批检验抽样

GBT2828.120121AQL

计划

/砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

GBT8758

/硅片直径测量方法

GBT14140

/半导体材料术语

GBT14264

/纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

GBT20307

/—:

洁净室及相关受控环境第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级

GBT25915.120211

3术语和定义

/界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

GBT14264

3.1

图形化衬底atternedsubstrate

p

,,

通过光刻或压印图形掩膜工艺再经等离子体刻蚀技术制成的表面具有一系列类圆锥体的周期性

阵列排布的微纳米图形结构的衬底。

:。

注图形化衬底用于提升氮化镓发光二极管的光电性能

3.2

图形排布atternarranement

pg

。,。

衬底表面图形按最密堆积原则进行位置及方向上的阵列分布排布如图所示排布如图所示

0°190°2

图排布

10°

1