GB/T 39516-2020 微纳米标准样板(几何量)

ICS17.040.30

J42GB

中华人民共和国国家标准

GB/T39516-2020

微纳米标准样板（几何量）

Micronanostandardsamples(geometric)

2020-11-19发布2021-06-01实施

国家市场监督管理总局申＃

国家标准化管理委员会保叩

GB/T39516-2020

目次

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1范围………··………….1

2规范性引用文件……”…….1

3术语和定义”…………“………·……1

4型式与基本参数…………“………·……3

1.1型式………………”………·………3

4.2基本参数…………”………·………4

5要求………“………”………·……5

5.1外观…………”………·……5

5.2性能参数要求……………·…5

6检查条件…”……··…………·……7

7捡查方法…………”·……………”……”·…………”.7

7.1外观…”……··…………·………7

7.2微纳米线间隔标准样板的性能参数……”………·……7

7.3微纳米台阶高度标准样板的性能参数…··……·…10

7.4纳米膜厚标准样板的性能参数…·……”……………12

7.5纳米线宽标准样板的性能参数…“…….14

8标志、运输及储存……………"….15

8.1标志………..15

8.2运输……··…………….16

8.3储存……………”…………16

8.4产品合格证……16

图1线间隔示意图………”…1

图2台阶高度示意图…··……”…2

图3薄膜厚度定义示意图……·……”………·……2

图4线宽示意图…·……”………·……2

图5微纳米线间隔标准样板型式示意图……3

图6微纳米台阶高度标准样板型式示意图……·……”…·……·……3

图7纳米膜厚标准样板型式示意图………·……”…·…………4

图8纳米线宽标准样板型式示意图…………”………….4

图9线间隔偏差有效测量区域选择示意图……”………….8

图10线边缘粗糙度考核位置示意图……·……………….9

I

GB/T39516-2020

图11线边缘粗糙度示意图………””……··…….9

图12均匀性测量示意图………….10

图13台阶高度测量示意图……··………11

图14台阶区域均匀性测量时测量线选取示意图……”…·…12

图15薄膜厚度偏差考核示意图……·……”…·…….13

图16线宽偏差测量区域选择示意图……”………·……14

图17线宽均匀性测量位置选择示意图………”………·……15

表1微纳米线间隔标准样板的性能参数要求…··……””……..5

表2微纳米台阶高度标准样板的性能参数要求“…·……””……..5

表3纳米膜厚标准样板的性能参数要求…·……”……”……..6

表4纳米线宽标准样板的性能参数要求…·……”……”……..6

Il

GB/T39516-2020

前言

本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草。

本标准由中国机械工业联合会提出。

本标准由全国量具量仪标准化技术委员会（SAC/TC132）归口。

本标准起草单位z中国电子科技集团公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、广西壮族自治

区计量检测研究院、中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、中国计量大学、珠海市怡信测量

科技有限公司。

本标准主要起草人z李锁印、付兴昌、梁法国、韩志国、赵琳、冯亚南、许晓青、张晓东、姜志刚、许刚、

苏冀雄、张恒、雷李华、赵军、张松涛、蔡潇雨、傅云霞．

m

GB/T39516-2020

微纳米标准样板（几何量）

1范围

本标准规定了微纳米标准样板（几何量）的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方

法、标志、运输及储存等。

本标准适用于线间隔为0.05µm~10µm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01µm~100µm

的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2nm~1000nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25nm~

1000nm的纳米线宽标准样板。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注目期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单〉适用于本文件。

GB/T17163-2008几何量测量器具术语基本术语

GB/T25915.1-2010洁净室及相关受控环境第1部分＝空气洁净度等级

3术语和定义

GB/T17163-2008界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

微纳米标准样板（几何量〉micronanostandardsamples(g四metric)

具有微纳米级线间隔、台阶高度、薄膜厚度、线宽几何特征结构的，可用于微纳米测量的标准样板。

3.2

线闽南pitch

具有微纳米级准确度和均匀性、刻线间距P不大于10µm的周期性刻线。以相邻同侧周期性刻线

边缘之间的距离或相邻周期性刻线几何结构中心之间的距离表征刻线间隔。

注E线间隔示意图见图1所示。

p

圈1线间隔示意圈

3.3

台阶高度stepheight

具有微纳米级准确度和均匀性的台阶或沟糟。

1

GB/T39516-2020

注2台阶高度示意图见图2所示．

'

。

λ输事疆去章程E露／p警

It)

o）适者除辈革滋滋d)

圄2台阶高度示意图

3.4

薄膜厚度filmthickness

由硅基底表面和生长层薄膜表面所确定的厚度量值。

注2薄膜厚度定义示意图见图3所示。

图3薄膜厚度定义示意图

3.5

线宽linewidth

线条两侧平均线边缘之间的距离。

注2线宽示意图见图4所示．

固4线宽示意圄

3.6

均匀性皿iformity

反映标准样板几何特征结构量值一致性的参数，在样板有效测量区域内均匀选取多个位置进行特

征结构量值测量，以其测量结果的实验标准偏差给出。

2

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3.7

线边缘粗糙度lineedgeroughness

描述由加工工艺和材料本身特性引起的刻线单侧墙微观表面形貌不规则程度及双侧墙微观形位关

系的物理量。反映制造工艺、线宽测量及器件性能等刻线侧墙整体形貌特征。

4型式与基本参数

4.1型式

4.1.1微纳米线闰隔标准样板

微纳米线间隔标准样板型式见图5所示。图示仅供图解说明，不表示详细结构。

线间隔小于或等于0.5µm的微纳米线间隔标准样板，其有效区域不应小于100µm×100µm；线间

隔大于0.5µm的微纳米线间隔标准样板，其有效区域不应小于1mm×1mmo

圄5微纳米线间隔标准样板型式示意圄

4.1.2徽纳米台阶高度标准样板

微纳米台阶高度标准样板型式见图6所示。图示仅供图解说明，不表示详细结构。

台阶高度小于或等于1µm的微纳米台阶高度标准样板，其台阶形式为凸的台阶结构g台阶高度大

于1µm的微纳米台阶高度标准样板，其台阶形式为凹的沟槽结构。

4锦？～制争1

ω港台阶

然楚；才被建

圃6微纳米台阶高度标准样板型式示意图

4.1.3纳米朦厚标准样板

纳米膜厚标准样板型式见图7所示。图示仅供图解说明，不表示详细结构。

纳米膜厚标准样板中心直径为10mm的区域为薄膜区域，并设计指示标记。

3

GB/T39516-2020

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毫量主毒草草

圄7纳米膜厚标准样板型式示意图

4.1.4纳米线宽标准样板

纳米线宽标准样板型式见图8所示。图示仅供图解说明，不表示详细结构。

纳米线宽标准样板的有效区域不小于10µm×10µmo

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图8纳米线宽标准样板型式示意图

4.2基本参数

4.2.1微纳米线间隔标准样板

微纳米线间隔标准样板的基本参数包括z线间隔、线边缘粗糙度和均匀性。

4.2.2微纳米台阶高度标准样板

微纳米台阶高度标准样板的基本参数包括＝台阶高度和均匀性。

4.2.3纳米膜厚标准样板

纳米膜厚标准样板的基本参数包括z薄膜厚度和均匀性。

4.2.4纳米线宽标准样板

纳米线宽标准样板的基本参数包括z线宽和均匀性。

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GB/T39516-2020

5要求

5.1外观

微纳米标准样板（几何量〉上不应有影响使用性能的划痕、断线等缺陷。

5.2性能参披要求

5.2.1微纳米线闰隔标准样板

微纳米线间隔标准样板的性能参数要求＝线间隔偏差、线边缘粗糙度和均匀性应符合表1的规定．

线间隔为0.05µm~10µm之间的其他微纳米线间隔标准样板的线间隔偏差、线边缘粗糙度和均

匀性可参照表1执行。

表1微纳米线间隔标准样板的性能参敢要求

线间隔线同隔偏差线边缘粗糙度均匀性

µmµmnmµm

0.05±（线间隔×5%)5