GB/T 43661-2024 表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和SCM)空间分辨的定义和校准

ICS71.040.40

CCSG04

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT436612024ISO130832015

表面化学分析扫描探针显微术

用于二维掺杂物成像等用途的

(,

电扫描探针显微镜如和

ESPMSSRM

SCM)空间分辨的定义和校准

——

SurfacechemicalanalsisScanninrobemicrosco

ygppy

Standardsonthedefinitionandcalibrationofsatialresolutionofelectrical

p

()

scanninrobemicroscoesESPMssuchasSSRMandSCMfor

gpp

2D-doantimainandotheruroses

pggpp

(:,)

ISO130832015IDT

2024-03-15发布2024-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—/:

GBT436612024ISO130832015

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4符号和缩略语……………1

5基本信息…………………2

6锐边法测量SCM横向分辨……………4

7锐边法测量SSRM空间分辨……………7

()……………………

附录A资料性SCM分辨测量示例9

()…………………

附录资料性分辨测量示例

BSSRM11

参考文献……………………13

Ⅰ

/—/:

GBT436612024ISO130832015

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

本文件等同采用:《表面化学分析扫描探针显微术用于二维掺杂物成像等用途

ISO130832015

(,)》。

的电扫描探针显微镜如和空间分辨的定义和校准

ESPMSSRMSCM

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由全国微束标准化技术委员会(/)提出并归口。

SACTC38

:、、。

本文件起草单位中山大学广东工业大学暨南大学

:、、、、、、、。

本文件主要起草人龚力杨慕紫陈瑜张浩谢伟广谢方艳丁喜冬陈建

Ⅲ

/—/:

GBT436612024ISO130832015

表面化学分析扫描探针显微术

用于二维掺杂物成像等用途的

(,

电扫描探针显微镜如和

ESPMSSRM

SCM)空间分辨的定义和校准

1范围

本文件描述了用于测量扫描电容显微镜(,)或扫描扩展电阻

scannincaacitancemicroscoeSCM

gpp

(,)(),

显微镜scanninsreadinresistancemicroscoeSSRM空间横向分辨的方法该方法涉及使用锐

gpgp

。。

边的器件这种显微镜广泛应用于半导体器件的载流子分布成像和其他电学特性的测量

2

2规范性引用文件

。,

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

,;,()

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

本文件。

:(—

表面化学分析词汇第部分扫描探针显微术术语

ISO18115-22Surfacechemicalanalsis

y

—:)

VocabularPart2Termsusedinscannin-robemicrosco

ygppy

:/—:(:,)

注表面化学分析词汇第部分扫描探针显微术术语

GBT22461.220232ISO18115-22021MOD

3术语和定义

ISO18115-2界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

电扫描探针显微术;

electricalscanninrobemicroscoESPM

gppy

(、、)。

采用导电探针测量材料电学特性例如电容电阻电场等的扫描探针显微术

3.2

接触模式contactmode

,,

通过调整探针和样品的相对高度使探针尖端在样品表面进行扫描的模式探针和样品之间始终存

在排斥力。

:。

注此模式分为恒高模式或恒力模式

[::,]

来源ISO18115-220136.35

4符号和缩略语

下列符号和缩略语适用于本文件。

:()

AC交流alternatincurrent

g

:()

AFM原子力显微术atomicforcemicroscopy

:()

DC直流directcurrent

1