GB/T 43663-2024 表面化学分析 二次离子质谱 静态二次离子质谱相对强度标的重复性和一致性

ICS71.040.40

CCSG04

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT436632024ISO238302008

表面化学分析二次离子质谱

静态二次离子质谱相对强度标的

重复性和一致性

——

SurfacechemicalanalsisSecondar-ionmasssectrometr

yypy

Reeatabilitandconstancoftherelative-intensitscalein

pyyy

staticsecondar-ionmasssectrometr

ypy

(:,)

ISO238302008IDT

2024-03-15发布2024-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—/:

GBT436632024ISO238302008

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4符号和缩略语……………1

5方法概述…………………2

6确认强度标重复性和一致性的方法……………………3

()………

附录资料性静态常规工作条件示例

ASIMS11

参考文献……………………12

Ⅰ

/—/:

GBT436632024ISO238302008

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

本文件等同采用:《表面化学分析二次离子质谱静态二次离子质谱相对强度标

ISO238302008

的重复性和一致性》。

“”“”。

本文件增加了规范性引用文件和术语和定义两章

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由全国微束分析标准化技术委员会(/)提出并归口。

SACTC38

:、、、、

本文件起草单位北京师范大学清华大学中国科学院物理研究所中国计量科学研究院北京化

工大学。

:、、、、。

本文件主要起草人吴正龙李展平陆兴华王海程斌

Ⅲ

/—/:

GBT436632024ISO238302008

引言

(),

静态二次离子质谱SIMS广泛应用于混合材料的表面分析常用于鉴别材料表面物质和混合物的

,。,

定量分析如表面功能化的聚合物共混物通过测量谱峰相对强度同时与参考样品的对应谱峰比较进

。,,。

行定量分析在这些测量中为了判断所观测的任何变化是否有意义重复性至关重要对于建立过往

,。

测量工作与数据库间相关性及确定仪器工作状态相对强度的一致性至关重要多数静态SIMS测

,,。,。

量通过与谱图库中谱图比较鉴别未知物测量是否有意义依赖于仪器的重复性和稳定性本文件

:

是针对静态SIMS仪器本身影响强度测量不确定度的两个重要方面正离子相对强度测量的重复性和

。,。

正离子相对强度随时间的漂移对于负离子还无法控制绝缘体表面电势以得到足够好的重复性因

,,,。

此本文件不包括负离子但是如果能控制好表面电势所述概念对负离子有可能也适用

,。,

对于分析相似样品间的变化趋势和差异重复性是重要的重复性差会给出样品存在明显差异的

。、、、

错误结论影响仪器测量重复性的因素包括离子源的稳定性电荷稳定性探测器设置仪器对样品位

、。

置的敏感性数据采集参数和数据处理程序

,,

本文件提供了一种确认仪器相对强度标重复性和一致性的简单方法用以评估仪器工作状态并采

,。,,

取可能的相关措施如改进操作程序或重设仪器参数所以宜定期使用此方法且最好在经仪器制造

。(),

厂商或其他相应机构验证的有效工作期间内使用本方法所使用样品为聚四氟乙烯简称PTFE适

用于具有电荷稳定功能的静态SIMS仪器。

,,

本方法没有涉及仪器的所有可能问题因为涉及所有问题需要耗费很长测试时间而且需要专业知

。。

识和设备本方法仅拟涉及静态SIMS相对强度标的重复性和漂移的常见基本问题

Ⅳ

/—/:

GBT436632024ISO238302008

表面化学分析二次离子质谱

静态二次离子质谱相对强度标的

重复性和一致性

1范围

本文件描述了常规分析中确认静态二次离子质谱正离子相对强度标的重复性和一致性的方法。

,,

本文件适用于安装有荷电中和电子枪的仪器不用于校正强度随质量变化的响应函数校正可由仪

。,

器制造厂商或其他机构进行本文件提供数据以确认仪器使用时的相对强度一致性提供可影响一致

性的一些仪器参数的设置指南。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件。

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4符号和缩略语

下列符号和缩略语适用于本文件。

:和组合峰的平均面积

ACFCF

13325

:和组合峰的平均面积

ACFCF

2713815

:和组合峰的平均面积

ACFCF

314271529

:()

d束斑直径μm

:()

e电子电荷C

-1

:()()

F脉冲重复率或频率s仅适用于飞行时间系统

:个质量峰中第个峰的标记

i13i

:

第个质量峰和第张谱的峰强度矩阵元

Ii

ij

j

:张谱中谱峰的平均强度

I7

i

:张谱中第张谱的标记

j7j

2

:(/,)

J总离子通量ionsm即每平方米通过的离子数

n:完整扫描帧的数目

:

第张谱中第个质量峰的归一化峰强度矩阵元

Niji

j

:()

p每一个像素表达的离子脉冲数目仅适用于飞行时间系统

:

第张谱中第个质量峰的相对强度矩阵元

Piji

j

:

第张谱中个峰的平均相对强度

Pjj9

:()()

q时间平均脉冲离子束流A仅适用于飞行时间系统

1