GB/T 44631-2024 晶片承载器传输并行接口要求

ICS31260

CCSL.97

中华人民共和国国家标准

GB/T44631—2024

晶片承载器传输并行接口要求

RequirementsforwafercarrierhandoffparallelI/Ointerface

2024-09-29发布2025-04-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T44631—2024

目次

前言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

缩略语

4……………………2

并行接口信号

5……………3

传送并行接口信号定义

5.1……………3

装载端口信号配置

5.2…………………7

信号传送要求

6……………9

传送时序

6.1……………9

单一传送顺序装载卸载

6.2(/)………………………14

同步传送顺序装载

6.3()………………19

连续传送顺序

6.4………………………21

异常处理

7…………………23

异常类型

7.1……………23

异常检测

7.2……………23

异常恢复

7.3……………24

连接器类型信号管脚要求

8、、……………25

连接器类型

8.1…………………………25

信号电参数

8.2…………………………26

状态位分配

8.3…………………………26

引脚分配

8.4……………27

信号隔离

8.5……………30

传感器要求

9………………32

Ⅰ

GB/T44631—2024

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本文件起草单位北京北方华创微电子装备有限公司中国电子技术标准化研究院漳州市太龙照

:、、

明工程有限公司浙江中聚材料有限公司

、。

本文件主要起草人程朝阳田涛赵俊莎孙岩曹可慰吴怡然李英钟结实张宝帅李殿浦

:、、、、、、、、、、

蔡书义王凯郭训容刘学庆武小娟

、、、、。

Ⅲ

GB/T44631—2024

晶片承载器传输并行接口要求

1范围

本文件规定了晶片承载器自动传送并行输入输出接口的信号定义信号传送要求异常处理以及

/、、,

连接器和传感器的要求

。

本文件适用于半导体制造领域用于晶片承载器往返于主动型设备和被动型设备之间的自动传送

、

操作

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

信息技术数据通信插针接口连接器及接触件号分配

GB/T15125—199425DTE/DCE

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

晶片承载器wafercarrier

存放晶片的片架片盒晶舟等承载器

、、。

32

.

存储栈stocker

半导体生产线中用于暂时存放晶片承载器或晶片的仓储装置

。

33

.

高架提升搬运车overheadhoisttransport

半导体生产线中一种悬挂安装在空中传输轨道下可移动的带有垂直升降移载装置的自动搬运

,

小车

。

34

.

高架往返搬运车overheadshuttle

半导体生产线中一种安装运行在空中传输轨道之上借助移载机械手实现晶片承载器在设备之间

,

传输的自动搬运小车

。

35

.

轨道导向车railguidedvehicle

半导体生产线中一种运行在地面传输轨道之上借助移载机械手把晶片承载器在设备之间传输的

,

自动搬运小车

。

36

.

自动导向车automatedguidedvehicle

半导体生产线中一种运行在地面之上无需机械式导向借助移载机械手实现晶片承载器在设备之

,,

1