GB/T 13387-2009 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法
GB/T 13387-2009 Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials
国家标准
中文简体
现行
页数：7页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
1992年02月
-
2009年10月
研制信息
- 起草单位：
- 有研半导体材料股份有限公司
- 起草人：
- 杜娟、孙燕、卢立延
- 出版信息：
- 页数：7页 | 字数：11 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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