GB/T 36176-2018 真空技术 氦质谱真空检漏方法
GB/T 36176-2018 Vacuum technology—Vacuum leak testing method by helium mass spectrometer
基本信息
发布历史
-
2018年05月
研制信息
- 起草单位:
- 北京卫星环境工程研究所、安徽皖仪科技股份有限公司、宁波莱宝真空自动化技术有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司、沈阳真空技术研究所
- 起草人:
- 王勇、孟冬辉、孙立臣、闫荣鑫、史纪军、黄文平、王国东、胡眉、任国华、孙伟、邵容平、陆鸣、张春元、窦仁超、言继春、王功发、言文静、彭光东、孙刚、孙威、景嘉荣、李斌、王玲玲
- 出版信息:
- 页数:16页 | 字数:30 千字 | 开本: 大16开
内容描述
ICS23.160
J78
国
中华人民共和国国家标准
GB/T36176-2018
真空技术氨质谱真空检漏方法
Vacuumtechnology-Vacuumleaktestingmethodbyheliummassspectrometer
2018-05-14发布2018-12-01实施
国家市场监督管理总局峪非
中国国家标准化管理委员会0(..'I(J
GB/T36176-2018
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GB/T36176-2018
5.2.3检漏程序
5.2.3.1检漏准备
检漏准备过程如下:
a)仪器准备:将氮质谱检漏仪、辅助真空系统(如果有)、阀体、管路、氨罩、校准漏孔等准备好,其
中,校准漏孔需经计量机构校准,并在有效期内。
b)被检件的预处理:清理被检件的内外表面,确保被检件的内外表面没有油污以及多余物等,表
面干燥。
c)将仪器设备按罔5或罔6连接,保证连接的部位有较好的密封。
d)校准漏孔需连接在被检件上,并且尽可能远离氮质谱检漏仪,对于被检件上不能直接连接校
准漏孔的,可以通过管路系统连接校准漏孔。
c)配好己知浓度的氨气。
5.2.3.2实施过程
5.2.3.2.1抽真空
抽真空的过程见5.1.3.2.L
5.2.3.2.2检漏灵敏度测试
检漏灵敏度的测试过程见5.1.3.2.Zo
5.2.3.2.3反应时间测试
反应时间的测试过程见5.1.3.2.30
5.2.3.2.4测试
5.2.3.2.4.1测试的过程如下:
a)判断检漏灵敏度是再优于被检件漏率要求的十分之一。优于则可以继续测试,否则应通过下
降本底,更换检漏设备或者采用其他灵敏度更高的检漏方法等措施,使得检漏系统的检漏灵敏
度优于被检件漏率要求的十分之一。
b)力ll氮罩。氨罩与被检件封闭的空间应尽可能地小,但应确保氮罩不能贴在被检件的表面上。
如果有可能,可以利用真空系统对该封闭空间抽真空。
c)加氮气。向氮罩中施加配好已知浓度的氮气至规定压力。
d)测试检漏仪的反应值12,测试时间应不小于3倍隘的反应时间。
c)打开氮罩,等待检漏系统清零,等待时间应不小子反应时间的5倍。
f)测试下一个疑似泄漏部位。
5.2.3.2.4.2氮罩法实施过程应遵循程序:对于被检件可能存在多孔状的漏点,可以考虑增加l测试时
间;测试完成后,应通过措施,如通风循环设备,尽可能地排除检漏场地的氮气,降低氮气本底。
5.2.3.2.5漏率计算
按式(2)计算漏率。
5.2.3.2.6检漏后处理
检漏后处理过程按5.1.3.2.6进行。
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GB/T36176-2018
5.2.3.3评估
若测试的漏率值小于或等于被检件允许漏率值,则该被检件通过漏率测试。
5.3压力-真空检漏法
5.3.1应用对象
压力,真空检漏法主要对被检件进行总漏来测试,其不能进行漏点的定位,若需定位,则应和吸枪直
视rj法配合使用。
5.3.2系统组成
压力-真空检漏法检漏系统的组成如罔7所示。
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说明:
1-一校l'ft阀;
2-一校l'ft漏孔;
3-一真空容器;
4-一被检件;
5-一充气设备;
6-一氮气瓶;
7-一氮质m检漏仪;
8一一高真空泵;
9-一前级泵。
图7压力-真空检漏法检漏系统的组成原理图
5.3.3检漏程序
5.3.3.1检j眉准备
检漏准备过程如下:
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GB/T36176-2018
a)仪器准备:将氮质谱检漏仪、真空校准漏孔、真空容器、真空系统、充气设备等准备好,其中,真
空校准漏孔、真空计等需经计量机构校准,并在有效期内。
b)被检件的预处理:清理被检件的内外表面,确保被检件的内外表面没有袖污以及多余物等,表
面干燥。
c)将仪器设备按罔7连接,保证连接的部位有较好的密封。
d)校准漏孔需连接在被检件t,并且尽可能远离氨质谱检漏仪,对于检漏容器不能直接连接校
准漏孔的,可以通过管路系统连接真空校准漏孔。
e)配好已知浓度的氮气。
5.3.3.2实施过程
5.3.3.2.1抽真空
将被检件放入真空容苦苦中,关闭真空容器,并抽真空。若对被检件检漏状态的真空度有要求,则抽
至所需的真空度;若没有明确的真空度要求,9!。至少抽至检漏仪可以T作的真空度。
5.3.3.2.2检漏灵敏度测试
检漏灵敏皮测试的过程见5.1.3.2.20
5.3.3.2.3反应时间测试
反应时间测试的过程见5.1.3.2.30
5.3.3.2.4测试;
5.3.3.2.4.1测试的过程如下:
a)判断检漏灵敏度是再优于被检件漏率要求的十分之一。优于则可以继续测试,否则应通过下
降本底,更换检漏设备或者采用其他灵敏度更高的检漏方法等措施,使得检漏系统的检漏灵敏
度优于被检件漏率要求的十分之一。
b)将氮气引人被检件的内部,并加压至被检件的丁-作压力。若被检件可以抽真空,则一般先将
其抽真空后,再充至规定的压力;若被检件不能抽真空,则可以通过高纯氮气多次置换的方法
降低被检件中本底空气对示踪氮气浓度的影响。也可以不抽真空,直接在计算漏率时将本底
空气对示踪氮气浓度的影响进行修正。
c)测得真空容器中的氮气浓度值lz,测试时间应不小于3倍的反应时间。
d)对被检件进行放气。
5.3.3.2.4.2压力真空检漏法实施过程应遵循程序:对被检件的加压应注意加压速度,防止因力11压速
度过快,导致被检件掘度上升过高;对于被检件可能存在多孔状的漏点,如焊缝中存在孔洞,可以考虑增
加测试时间,测试时间以检漏仪的反应值稳定为准;测试完成后,应通过措施,如通风循环设备,尽可能
地排除检漏场地的氨气,降低氮气本底。
5.3.3.2.5漏率计算
按式(2)计算漏束。
5.3.3.2.6检漏后处理
检漏后处理过程按5.1.3.2.6进行。
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