GB/T 36176-2018 真空技术 氦质谱真空检漏方法

ICS23.160

J78

国

中华人民共和国国家标准

GB/T36176-2018

真空技术氨质谱真空检漏方法

Vacuumtechnology-Vacuumleaktestingmethodbyheliummassspectrometer

2018-05-14发布2018-12-01实施

国家市场监督管理总局峪非

中国国家标准化管理委员会0(..'I(J

GB/T36176-2018

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GB/T36176-2018

5.2.3检漏程序

5.2.3.1检漏准备

检漏准备过程如下：

a)仪器准备：将氮质谱检漏仪、辅助真空系统（如果有）、阀体、管路、氨罩、校准漏孔等准备好，其

中，校准漏孔需经计量机构校准，并在有效期内。

b)被检件的预处理：清理被检件的内外表面，确保被检件的内外表面没有油污以及多余物等，表

面干燥。

c)将仪器设备按罔5或罔6连接，保证连接的部位有较好的密封。

d)校准漏孔需连接在被检件上，并且尽可能远离氮质谱检漏仪，对于被检件上不能直接连接校

准漏孔的，可以通过管路系统连接校准漏孔。

c)配好己知浓度的氨气。

5.2.3.2实施过程

5.2.3.2.1抽真空

抽真空的过程见5.1.3.2.L

5.2.3.2.2检漏灵敏度测试

检漏灵敏度的测试过程见5.1.3.2.Zo

5.2.3.2.3反应时间测试

反应时间的测试过程见5.1.3.2.30

5.2.3.2.4测试

5.2.3.2.4.1测试的过程如下：

a)判断检漏灵敏度是再优于被检件漏率要求的十分之一。优于则可以继续测试，否则应通过下

降本底，更换检漏设备或者采用其他灵敏度更高的检漏方法等措施，使得检漏系统的检漏灵敏

度优于被检件漏率要求的十分之一。

b)力ll氮罩。氨罩与被检件封闭的空间应尽可能地小，但应确保氮罩不能贴在被检件的表面上。

如果有可能，可以利用真空系统对该封闭空间抽真空。

c)加氮气。向氮罩中施加配好已知浓度的氮气至规定压力。

d)测试检漏仪的反应值12，测试时间应不小于3倍隘的反应时间。

c)打开氮罩，等待检漏系统清零，等待时间应不小子反应时间的5倍。

f)测试下一个疑似泄漏部位。

5.2.3.2.4.2氮罩法实施过程应遵循程序：对于被检件可能存在多孔状的漏点，可以考虑增加l测试时

间；测试完成后，应通过措施，如通风循环设备，尽可能地排除检漏场地的氮气，降低氮气本底。

5.2.3.2.5漏率计算

按式（2）计算漏率。

5.2.3.2.6检漏后处理

检漏后处理过程按5.1.3.2.6进行。

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GB/T36176-2018

5.2.3.3评估

若测试的漏率值小于或等于被检件允许漏率值，则该被检件通过漏率测试。

5.3压力－真空检漏法

5.3.1应用对象

压力，真空检漏法主要对被检件进行总漏来测试，其不能进行漏点的定位，若需定位，则应和吸枪直

视rj法配合使用。

5.3.2系统组成

压力－真空检漏法检漏系统的组成如罔7所示。

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说明：

1－一校l'ft阀；

2－一校l'ft漏孔；

3－一真空容器；

4－一被检件；

5－一充气设备；

6－一氮气瓶；

7－一氮质m检漏仪；

8一一高真空泵；

9－一前级泵。

图7压力－真空检漏法检漏系统的组成原理图

5.3.3检漏程序

5.3.3.1检j眉准备

检漏准备过程如下：

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GB/T36176-2018

a)仪器准备：将氮质谱检漏仪、真空校准漏孔、真空容器、真空系统、充气设备等准备好，其中，真

空校准漏孔、真空计等需经计量机构校准，并在有效期内。

b)被检件的预处理：清理被检件的内外表面，确保被检件的内外表面没有袖污以及多余物等，表

面干燥。

c)将仪器设备按罔7连接，保证连接的部位有较好的密封。

d)校准漏孔需连接在被检件t，并且尽可能远离氨质谱检漏仪，对于检漏容器不能直接连接校

准漏孔的，可以通过管路系统连接真空校准漏孔。

e)配好已知浓度的氮气。

5.3.3.2实施过程

5.3.3.2.1抽真空

将被检件放入真空容苦苦中，关闭真空容器，并抽真空。若对被检件检漏状态的真空度有要求，则抽

至所需的真空度；若没有明确的真空度要求，9！。至少抽至检漏仪可以T作的真空度。

5.3.3.2.2检漏灵敏度测试

检漏灵敏皮测试的过程见5.1.3.2.20

5.3.3.2.3反应时间测试

反应时间测试的过程见5.1.3.2.30

5.3.3.2.4测试；

5.3.3.2.4.1测试的过程如下：

a)判断检漏灵敏度是再优于被检件漏率要求的十分之一。优于则可以继续测试，否则应通过下

降本底，更换检漏设备或者采用其他灵敏度更高的检漏方法等措施，使得检漏系统的检漏灵敏

度优于被检件漏率要求的十分之一。

b)将氮气引人被检件的内部，并加压至被检件的丁－作压力。若被检件可以抽真空，则一般先将

其抽真空后，再充至规定的压力；若被检件不能抽真空，则可以通过高纯氮气多次置换的方法

降低被检件中本底空气对示踪氮气浓度的影响。也可以不抽真空，直接在计算漏率时将本底

空气对示踪氮气浓度的影响进行修正。

c)测得真空容器中的氮气浓度值lz，测试时间应不小于3倍的反应时间。

d)对被检件进行放气。

5.3.3.2.4.2压力真空检漏法实施过程应遵循程序：对被检件的加压应注意加压速度，防止因力11压速

度过快，导致被检件掘度上升过高；对于被检件可能存在多孔状的漏点，如焊缝中存在孔洞，可以考虑增

加测试时间，测试时间以检漏仪的反应值稳定为准；测试完成后，应通过措施，如通风循环设备，尽可能

地排除检漏场地的氨气，降低氮气本底。

5.3.3.2.5漏率计算

按式（2）计算漏束。

5.3.3.2.6检漏后处理

检漏后处理过程按5.1.3.2.6进行。

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