GB/T 3163-1993 真空技术术语

621.52:006.72

U3D7C8

}CJ8

中华人民共和国国家标准

GB/T3163一93

真空技术术语

Terminologyforvacuumtechnology

1993一12一30发布1994一08一01实施

国家技术监督局发布

目次

1主题内容与适用范围(1)

2引用标准·“”··············”··”·“···········““·”·······“············“············““·······“·……(1)

3一般术语价······“·························”···········”···································“·”……(1)

4真空泵及有关术语··························”··价··”···························“·········“一(5)

5真空系统及有关术语”········“”················”·········”·······················“··”··…·…(10)

6真空计“·············””·“···“··”···“”·”·”·“·“·”·········”·········“····················一·(15)

7检漏及有关术语·················“·”·······“·”·········”·”··········”·······················“·…(18)

8真空镀膜技术··一(20)

9真空千燥和冷冻干燥····”·”··················“·········“”·”······“························……(23)

10表面分析技术···”·······“·”·······“·”············”··········“·”···················“·····……(27)

11真空冶金············“·········“·”········”·”···········”··········”·”························”一(31)

附录A中文索引(补充件)·························”·······”·”·······““·”··········“··”…〔35)

附录B英文索引(补充件)······“···················································“”·············”…(42)

中华人民共和国国家标准

GB/T3163一93

真空技术术语代替GB3163-82

Terminologyforvacuumtechnology

本标准参照采用国际标准ISO3529-1981真《空技术名词术语》。

主题内容与适用范围

本标准规定了真空技术方面的一般术语、真空泵术语、真空计术语、真空系统术语、真空检漏术语、

ri空镀膜技术术语、真空干燥术语、表面分析术语和真空冶金术语。

本标准适用于真空技术方面的技术文件、标准、书籍和手册等有关资料的编写。

弓1用标准

CUB3101有关量、单位和符号的一般原则

GB6306.1-6306.4变容真空泵性能测试方法

GB6307.1-6307.2蒸汽流真空泵性能测试方法

一般术语

标准环境条件standardambientconditions

温度为20C，相对湿度为6500，大气压力为:

101325Pa=1013.25mbar=760Torr,

脚气体的标准状态standardreferenceconditionsforgases

温度为0'C，压力为:101325Pa,

33压力(压强)ppressure

气体分子从某一假想平面通过时，沿该平面的正法线方向的动量改变率，除以该平面面积或气体

分子作用于其容器壁表面上的力的法向分量，除以该表面面积。

注:“压力”这一术语只适用于气体处于静止状态的压力或稳定流动时的静态压力.

帕斯卡Papascal

国际单位制压力单位，lPa=1N/m'.

3.5托Torrtort

压力单位，1Torr=扁atm.

标准大气压atmstandardatmosphere

压力单位，latm=1013251'a,

毫巴mbarmillibar

压力单位，lmbar=10'Pa,

分压力partialpressure

混合气体中某一组分的压力。

国家技术监督局1993门2一30批准1994一08一01实施

Gs/T3163一93

3.9全压力totalpressure

混合气体中所有组分压力的总和。

3.10真空vacuum

在指定空间内，低于环境大气压力的气体状态。

3.11、滇空度degreeofvacuum

表示真空状态下气体的稀薄程度，通常用压力值来表示。

3.12真空区域rangesofvacuum

一真‘空区域大致划分如下:

压力

真空区域

PaTorr

低真空105-101760^-1

中真空10'^-10-'1-10-'

高真空10-1^-10-'10-a^-10-'

超高真空<10-s<10-'

气体gas

不受分子间相互作用力的约束且能自由地占据任意空间的物质。

注:在真空技术中，“气休”一词不严格地应用于非可凝性气体和蒸汽

3.14非可凝性气体non-condensablegas

在临界温度以上的气体，即单纯增加压力不能使其液化的气体。

3.15蒸汽vapour

在临界温度以下的气体，即单纯增加压力能使其液化的气体。

饱和蒸汽压saturationvapourpressure

在给定温度下，某种物质的蒸汽与其凝聚相处于相平衡状态下的该种物质的蒸汽压力。

3.17饱和度degreeofsaturation

蒸汽压对其饱和蒸汽压之比。

饱和蒸汽saturatedvapour

在给定温度下，压力等于其饱和蒸汽压的蒸汽。

未饱和蒸汽unsaturatedvapour

在给定温度下，压力小于其饱和蒸汽压的蒸汽。

分子数密度n,m-'numberdensityofmolecules

在某瞬时，气体中某点周围体积内的分子数，除以该体积。

3.21平均自由程l,A,mmeanfreepath

一个分子与其它气体分子每连续二次碰撞走过的路程，叫自由程。相当多的不同自由程的平均

值，叫平均自由程。

碰撞率1G,s一’collisionrate

在给定时间间隔内，一个分子(或其它规定粒子)相对于其它气体分子(或其它规定粒子)运动，受

到的平均碰撞次数，除以该时间。这个平均碰撞次数是应在足够多的分子数和足够长的时间间隔

下取得。

3.23体积碰撞率Xvolumecollisionrate

在给定时间间隔内，在围绕规定一点的空间范围内气体分子间的平均碰撞次数，除以该时间和该

空间范围体积。所取时间间隔和体积不应太小。

GB/r'3163一93

气体量Gquantityofgas

处于平衡状态的理想气体所占有的体积同其压力的乘积。此值必须注明气体温度或换算成20"C

时的数值。

注:气体量是指该量气体所占体积内气体内察能量(或位能)的2/3.

气体的扩散diffusionofgas

气体由于浓度梯度而在另一种介质中的运动。介质可以是另一种气体(这种情况下的扩散称之为

互扩散)或者是可凝聚物质

扩散系数Ddiffusioncoefficent;diffusivity

通过单位面积的质量流率的绝对值同该单位面积的法向浓度梯度之比。

粘滞流viscousflow

气体分子的平均自由程远小于导管最小截面尺寸的流态。因此，流动取决于气体的粘滞性，粘滞

流可以是层流或滞流。

粘滞系数r/viscousfactor

在气流速度梯度方向单位面积上的切向力与速度梯度之比。

泊肖叶流poiseuilleflow

流过圆截面长导管的层流粘滞流。

3.30中间流intermediateflow

在层流和分子流之间状态下气体通过导管的流动。

分子流molecularflow

气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态。

克努曾数numberofknudsen

气体分子的平均自由程与导管直径之比。

分子泻流moleculareffusion;effusiveflow

气体流过薄壁小孔，其分子的平均自由程较小孔尺寸大得多的情况时的流动状态。

流逸transpiration

由压力差引起的气体通过多孔物体的流动。

热流逸thermaltranspiration

在分子流状态下，两个连通容器由于温度不同引起了气体流动，当气体传输达到平衡时，两个容

器之间产生压力梯度的现象。

分子流率qvmolecularflowrate;molecularflux

在给定时间间隔内，从给定方向穿过表面的分子数与从相反方向穿过该表面那些分子数之差，除

以该时间。

分子流率密度molecularflowratedensity;densityofmolecularflux

分子流率除以表面面积。

3.38质量流率q.massflowrate

在给定时间间隔内通过某一截面的气体质量，除以该时间。

流量qathroughputofgas

在给定时间间隔内通过某一截面的气体量除以该时间。

体积流率qvvolumeflowrate

在给定温度、压力和给定时间间隔通过某截面的气体体积，除以该时间。

摩尔流率q,molarflowrate

在给定时间间隔内通过给定截面的气体的摩尔数，除以该时间。

麦克斯韦速度分布maxwellianvelocitydistribution

GB/T3163一93

由麦克斯韦一波尔兹曼速度分布函数确定的一种速度分布。即气体分子在一定温度下处于平衡态

和到器壁的距离大于分子平均自由程时的速度分布。

3.43传输儿率P,transmissionprobability

无规律地进人导管入口的分子通过出口的几率。

分子流导C-U,molecularconductance

气体通过管的两规定截面或孔流动的分子流导为:其分子流率与管的两截面或孔的两侧的平均

分子数密度差之比。

3.45流导(,Uconductance

在等温条件下，气体通过导管或孔流动时，其流量与导管的两规定截面或孔的两侧的平均压力差

之比。

3.46固有流导CU,intrinsicconductance

在容器中麦克斯韦速度分布占优势的条件下，连接这样两个容器的导管(或小孔)的流导。在分子

流条件下，它等于入口流导与传输几率之积。

流阻LVresistance

流导的倒数。

3.48吸附sorption

固体或液体(吸附剂)对气体或蒸汽(吸附质)的捕集现象。

3.49表面吸附adsorption

气体或蒸汽(吸附质)存留在固体或液体(吸附剂)表面上的吸附现象。

3.50物理吸附physisorption

由于物理作用的吸附现象。

化学吸附chemisorption

由于化学作用的吸附现象。

吸收absorption

气体或蒸汽(吸附质)扩散进入到固体或液体(吸附剂)内部的现象。

适应系数aaccommodationfactor

入射到某一表面的粒子和该表面实际交换的平均能量与粒子在该表面上达到完全的热平衡条件

所应当交换的平均能量之比。

入射率。impingementrate

在给定时间间隔内，入射到表面的分子数，除以该时间和该表面面积。

凝结率condensationrate

在给定时间间隔内凝结在某一表面积上的分子数(或物质量或物质质量)除以该时间和该表面面

积

粘着率stickingrate

在给定时间间隔内表面上吸附的分子数，除以该时间和该表面面积。

粘着几率P,stickingprobability

粘着率与入射率之比。

滞留时间rresidencetime

分子在表面上以吸附状态被约束的平均时间。

3.59迁移migration

分子在表面上的移动。

160解吸desorption

被材料吸附的气体或蒸汽的释放现象。释放可以是自然的，也可用物理方法加速。

cB/T3163一93

去气degassing

气体从材料中人为的解吸。

放气outgassing

气体从材料中自然的解吸。

解吸或放气或去气速率、cudesorptionoroutgassingordegassingrate

在给定时间间隔内，从材料中解吸(或放气或去气)的气体流量(或分子流率)，除以该时间和该表

面面积。

蒸发率。vaporationrate

在给定时间间隔内从表面上蒸发的分子数(或物质量或物质质量)除以该时间和该表面面积。

3.65渗透permeation

气体通过固体阻挡层的现象。该现象包括气体通过固体的扩散，也可以包括其它的表面现象。

3.66渗透率Tpermeability

在稳定流动的条件下，气体通过阻挡层(如器壁)的流量除以阻挡层两侧压力函数的量，该函数形

式取决于实际渗透所涉及的物理过程。

渗透系数Ppermeabilitycoefficient

渗透率与阻挡层厚度之积除以渗透表面积。

4真空泵及有关术语

4.1真空泵vacuumpumps

产生、改善和(或)维持真空的装置。基本上分为气体传输泵和气体捕集泵两种类型。

4.1.1容积真空泵positivedisplacementpump

容积真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气的装置。气体在排出前被压缩。这种

泵分为往复式及旋转式两种。

4.1.1.1气镇真空泵gasballastvacuumpump

泵工作中，经气镇阀放入适量的非可凝性气体到泵的压缩室，以降低被抽气体中可隆性蒸汽

在泵内凝结程度的容积真空泵。4.1.1.64.1.1.10的容积真空泵均可装气镇装置。

4.1.1-2油封(液封)真空泵oil-sealed(liquid-sealed)vacuumpump

利用油类密封各运动部件间的间隙和减少压缩室有害空间的旋转容积真空泵。

4.1门3干封真空泵dry-sealedvacuumpump

不用油类(或液体)密封的容积真空泵。

4.1.1.4往复真空泵pistonvacuumpump

利用泵腔内活塞往复运动，将气体压缩并排出的容积真空泵。

4.1.1.5液环真空泵liquidringvacuumpump

带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体(通常为水)抛向泵壳并形成与泵壳

同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的旋转容积真空泵。

4.1.1.6旋片真空泵slidingvanerotaryvacuumpump

转子偏心的装在泵壳内并同泵壳内表面固定面相切，在转子内装有二个(或二个以上)旋片，

当转子旋转时滑片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，将泵腔分成几个可变容积

的旋转容积真空泵。

4.1.1.7定片真空泵rotarypistonvacuumpump

在泵壳内装有一个与泵壳内壁相接触的偏心转子，泵壳上装有一片始终与转子表面接触的径

向滑片，当转子旋转时滑片上、下滑动将泵腔分成两个可变容积的旋转容积真空泵。

4.1.1.8滑阀真空泵rotaryplungervacuumpump

GB/'r3163一93

在偏心转子外有一滑阀环，转子旋转时带动滑阀环沿泵壳内壁滑动和滚动，固定在滑阀环上

的滑阀杆能在装于泵壳适当位置可摆动的滑阀导轨中滑动，而把泵腔分成两个可变容积的旋

转容积真空泵。

4.1.19余摆线真空泵trochoidalvacuumpump

在泵壳内，偏心装有一个余摆线型转子，它沿泵壳内壁滑动并将泵腔分成两个可变容积的容

积真空泵。

4.1.1.10多室旋片真空泵multi-chamberslidingvanerotaryvacuumpump

在一个泵壳内并联装有由同一电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。

4.1.1.11罗茨真空泵rootsvacuumpump

泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形转子，转子间，转子同泵壳内壁保持一定

的间隙的旋转容积真空泵。

4.1.2动量传输泵kineticvacuumpump

高速旋转的叶片或射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断的从人口传输到出口

的真空泵。

4.1.2.1牵引分子泵moleculardragpump

气体分子与高速转动的转子相碰撞而获得动量，被送到出口的一种动量传输泵。

4.1.2.2涡轮分子泵turbomolecularpump

泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子对应的圆盘间旋转。转子圆周的线速度和气

体分子速度是相同的量级的，泵通常在分子流条件下工作。

4.口2·.3喷射真空泵ejectorvacuumpump

利用文丘里(venturi)效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵。

喷射真空泵适于粘滞流和过渡流条件下工作。

4.1.2.4液体喷射真空泵liquidjetvacuumpump

以液体(通常为水)为工作介质的喷射真空泵。

4-1.2.5气体喷射真空泵gasjetvacuumpump

以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。

4.1.2.6蒸汽喷射真空泵vapourjetvacuumpump

以蒸汽(水、油、汞等蒸汽)作为工作介质的喷射真空泵。

4.1.2.7扩散泵diffusionpump

以低压高速蒸汽流(油或汞等蒸汽)作为工作介质的气体动量传输泵。气体分子扩散到蒸汽射

流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是低的。这种泵适于分子流条件下工作。

4.1.2.8自净化扩散泵selfpurifyingdiffusionpump

泵液中的易挥发杂质经专门的机构输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵。

4.1.2.9分馏扩散泵fractionatingdiffusionpump

这种泵具有分馏装置，使蒸汽压力较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压力较

高的工作液蒸汽进人低真空工作的喷嘴中的一种多级油扩散泵。

4.1.2.10扩散喷射泵diffusionejectorpump

有扩散泵特性的单级或多级喷嘴和具有喷射泵特性的单级或多级喷嘴组成的动量传输泵。

4.1.2.11离子传输泵iontransferpump

被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。

4.1.3捕集真空泵entrapmentvacuumpump

气体分子被吸附或凝结在泵内表面上的真空泵。

4.1,3.1吸附泵adsorptionpump

GB/T3163一93

主要用具有大表面的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气的捕集真空泵。

4.1.3.2吸气剂泵getterpump

用吸气剂以化学结合方式捕获气体的捕集真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式

存在的金属或冶金。

4.1.3.3升华(蒸发)泵sublimation(evaporation)pump

一种用间断或连续方式升华(蒸发)吸气材料以达到抽气目的的捕集真空泵。

4.1.3.4吸气剂离子泵getterionpump

被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的泵内表面上的捕集真空泵。

4.1.3.5蒸发离子泵evaporationionpump

泵内被电离的气体传输到以间断或连续方式升华或蒸发而覆在泵内壁的吸气材料上而被吸

附的一种吸气离子泵。

4.1.3.6溅射离子泵sputterionpump

泵内电离的气体，被吸附在由阴极连续溅散出来的吸气材料上的吸气剂离子泵。

4.1.3.7低温泵cryopump

利用低温表面捕集气体的真空泵。

4.2真空泵零部件

4.2.1泵壳pumpcase

将低压力气体与大气隔开的泵的外壳。

4.2.2人口inlet

真空泵的吸气口。

4.2.3出口outlet

真空泵的排气口。

4.2.4旋片(滑片、滑阀)vane;blade

在一些容积真空泵中，将泵腔分成若干部分的滑动零件。

4-2-5排气阀dischargevalve

在一些旋转容积真空泵中，从压缩室排气的自动阀。

4-2-6气镇阀gasballastvalve

在气镇真空泵的压缩室安装的一种起气镇作用的充气阀.

4.2.7膨胀室expansionchamber

在一些容积真空泵泵腔内，被抽气体进入逐渐增大的空间。

4.2.8压缩室compressionchamber

进人容积真空泵泵腔的气体，在排出之前被压缩，使其体积逐渐减小的空间。

4.2.9真空泵油vacuumpumpoil

在油封真空泵中，用来密封、冷却和润滑的液体。

4.2-10泵液pumpfluid

喷射真空泵、扩散泵或扩散喷射泵的工作液。

4-2-11喷嘴nozzle

为使喷射真空泵、扩散泵或扩散喷射泵起抽气作用而对射流导向的部件。

4.2.12·喷嘴喉部nozzlethroat

喷嘴的最小横截面。

4.2.13喷嘴扩张率nozzleexpansionrate

喷嘴出口面积和喷嘴喉部面积之比。

4.2.14喷嘴间隙面积nozzleclearancearea

GB/T3163一93

喷嘴出口外缘和泵壳之间最小横截面积。

4.2-15喷嘴间隙nozzleclearance

决定喷嘴间隙面积的环的宽度。

4.2-16射流jet

从喷射泵、扩散泵或扩散喷射泵喷嘴喷射出的工作介质流。

4.2.17扩散器diffuser

喷射泵壁的收缩部分、喉部及扩张部分的总和。

4.2.18扩散器喉部diffuserthroat

扩散器的最小截面部分。

4.2.19蒸汽导管vapourtube(pipe;chimney)

在蒸汽喷射泵、扩散泵或扩散喷射泵中，从锅炉到喷嘴的连接管。

4.2.20喷嘴组件nozzleassembly

蒸汽喷射泵、扩散泵或扩散喷射泵的喷嘴与蒸汽导管的组装件(一般指可拆卸部件)。

4.2-21下裙skirt

喷嘴组件下部的扩大部分。它使返回冷凝的泵液与锅炉产生的蒸汽分开。

4.3附件

4.3.1阱trap

用物理或化学的方法来降低气体混合物中蒸汽压力的装置。

4.31.1冷阱coldtrap

通过冷却表面凝结作用工作的阱。

4.3.1.2吸附阱sorptiontrap

以吸附方式工作的阱。

4.31.3离子阱iontrap

利用电离方法工作的阱。

4.3.1.4冷冻升华阱cryosublimationtrap

用间断方式把吸气剂材料升华并沉积到阱的冷却表面上来吸附气体和凝结泵液蒸汽的阱。

4.3.2挡板baffle

装在蒸汽喷射泵、扩散泵或扩散喷射泵入口，用以降低泵液返流和返迁移的遮挡装置(也可用冷

却方式)

4.3.3油分离器oilseparator

装在真空泵出口处，用以减少以微滴形式被带走的泵油的装置。通常用于变容真空泵中。

4.3.4油净化器oilpurifier

从泵油中清除污染物的装置。

4.3.5冷凝器condenser

用以冷凝混合气流中水蒸汽的装置。

4.4泵按工作分类

4.4.1主泵manipump

在真空系统中，用来获得所要求的真空度的真空泵。

4.4.2粗抽泵roughingvacuumpump

从大气压开始降低系统的压力到另一抽气系统开始工作的真空泵。

4.4.3前级真空泵backingvacuumpump

用以维持另一个泵的前级压力在其临界前级压力以下的真空泵。前级泵也可以做粗抽泵使用。

4.4.4粗(低)真空泵rouwh(low)vacuumpump

GB/T3163一93

从大气开始降低容器压力的真空泵。

4.4.5维持真空泵holdingvacuumpump

在真空系统中，当气体量很小时，不能有效的利用主前级泵，为此，在真空系统中配置一种容量

较小的辅助前级泵维持主泵正常工作或维持已抽空容器所需之低压的真空泵。

4.4-6高真空泵highvacuumpump

在高真空范围工作的主真空泵

4.4.7超高真空泵ultra-highvacuumpump

在超高真空范围工作的真空泵。

4.4.8增压真空泵boostervacuumpump

装于高真空泵和前级泵之间，用来提高抽气系统在中间压力范围的抽气量或者降低对前级泵容

量要求的真空泵。

4.5真空泵特性

4.5.1真空泵的抽气速率(体积流率)‘volumeflowrateofavacuumpump

当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测

得的平衡压力之比。简称泵的抽速。

4.5.2真空泵的抽气量Qthroughputofvacuumpump

流经泵入口的流量。

4.5.3起动压力startingpressure

泵无损坏起动并有抽气作用的压力。

4.5.4前级压力backingpressure

排气压力低于一个大气压力的真空泵的出口压力。

4.5.51Yw界前级压力criticalbackingpressure

蒸汽喷射泵或扩散泵、扩散喷射泵所许可的最高前级压力值，超过了此值就破坏正常工作。当前

级压力稍高于临界前级压力时，还不致于引起入口压力的显著增加。蒸汽流泵的临界前级压力

主要决定于抽气量。

注:某些泵正常工作的破坏不会突然出现，所以临界前级压力不能准确指出

4.5.6最大前级压力maximumbackingpressure

超过了能使泵损坏的前级压力。

4.5.7最大工作压力maximumworkingpressure

对应最大抽气量的入口压力。在此压力下，泵能连续工作而不恶化或损坏。

4.5.8真空泵的极限压力ultimatepressureofapump

泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压力。

4.5.9压缩比compressionratio

泵对给定气体的出口压力与人口压力之比。

4.5.10何氏系数Hocoefficient

蒸汽喷射泵、扩散泵或扩散喷射泵喷嘴间隙面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论

抽速之比。

4.5.11抽速系数speedfactor

蒸汽喷射泵或扩散泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。

4.5.12气体的反扩散back-diffusionofgas

从真空泵出口向入口与抽气作用相反方向的气体流动。

4.5.13泵液返流back-streamingofpumpfluid

泵液通过泵入口(或者附属挡板或阱)与被抽气体流动方向相反的流动。

cB/T3163一93

返流率back-streamingrate

泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵液质量流率。

返迁移back-migration

a蒸汽喷射泵、扩散泵或扩散喷射泵的泵液分子沿表面移动进入被抽容器

b.油封真空泵的泵油分子沿表面移动进入被抽容器。

爆腾bumping

泵液在锅炉内由于局部过热产生的不稳定蒸发。

水蒸气允许量q.watervapourtolerableload

在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流率。

最大允许水蒸气入口压力maximumtolerablewatervapourinletpressure

在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时被抽气体中水蒸气的最高人口压力。

蒸汽喷射泵、扩散泵或扩散喷射泵的加热时间warm-uptimeforavapourjetpumporadif-

fusionpumporadiffusionejectorpump

锅炉中泵液的温度达到它正常工作温度所需要的时间。起始温度可以是环境温度，也可以是

泵安全暴露大气的温度。

4.5.20蒸汽喷射泵、扩散泵或扩散喷射泵的冷却时间cool-downtimeforavapourjetpumpora

diffusionpumporadiffusionejectorpump

泵停止加热后，锅炉中的泵液从正常工作温度降到可以安全暴露大气时的温度所需要的时

间。

真空系统及有关术语

5门真空系统vacuumsystem

由真空容器和产生真空、测量真空、控制真空等的组件组成。

5.1.1真空机组pumpsystem

由产生真空、测量真空和控制真空等的组件组成。

5.1.2有油真空机组pumpsystemusedoil

用油作工作液或用有机材料密封的真空机组。

5.1.3无油真空机组oilfreepumpsystem

不用油作工作液和不用有机材料密封的真空机组。

5.1.4连续处理真空设备。ontinuoustreatmentvacuumplant

能将处理研究的材料或工件连续地送入到真空容器中，并且又能从真空室输出而不必中断设备

连续工序的一种真空设备。

5.1.5闸门式真空系统vacuumsystemwithanair-lock

在不破坏真空情况下，能将工件或材料通过一个或若干个真空闸室导入或导出的一种真空系

统

5.1.6压差真空系统differentiallypumpedvacuumsystem

通过气体节流，使互相连接的各个室分别用单独真空泵抽气以达到维持压差(压降或压力梯段)

目的的一种真空系统。

5.1.7进气系统gasadmittancesystem

在规定的和控制的条件下，能将气体或气体混合物放人到真空系统的一种装置。

5.2真空系统特性参量

5.2-1抽气装置的抽速volumeflowrateofapumpingunit

在抽气装置进气口测得的抽速。

cB/T3163一93

5.2.2抽气装置的抽气量throughputofapumpingunit

流经抽气装置进气口的气体流量。

5.2.3真空系统的放气速率degassing(outgassing)throughputofavacuumsystem

由真空系统所有表面解吸气体所产生的气体流量。

注在真空系统内部经常出现一种漏气假象.这种情况叫做“虚漏o，’

5.2.4真空系统的漏气速率leakthroughputofavacuumsystem

由于漏气渗入到真空系统中并影响真空容器中压力的气体流量。

5.2.5真空容器的升压速率rateofpressureriseofavacuumchamber

在温度保持不变时，抽气系统关闭后，在给定时间间隔内容器的压力升高量除以该时间间隔之

商。该商有可能不是恒定的

5.2.6极限压力ultimatepressure

泵在工作时，空载干燥的真空容器逐渐接近稳定的最低压力。

5.2.7残余压力residualpressure

经过一定时间的抽气之后或真空过程结束之后还存在于真空容器中的气体或气体混合物(残余

气体)的全压。在某些情况下残余压力等于极限压力。

注:在真空技术中，“气体”一词按广义的理解，即可适用于非冷凝性气体也可应用于蒸汽。

5.2.8残余气体谱residualgasspectrum

真空容器中残余气体的质谱。

5.2.9基础压力basepressure

在真空容器中可以开始实施工艺时的压力。

注在某些真空工艺中，例如表面的分析，基础压力也称作为“本底压力”.

5.2.10工作压力workingpressure

在真空容器中为实施工艺所必需的压力(可能还有压力范围)。

5.2门1粗抽时间roughingtime

前级真空泵或前级真空抽气装置从大气压抽至基础压力或抽至在较低压力下工作的真空泵的

起动压力所需要的时间。

5.2-12抽气时间pump-downtime

将真空系统的压力从大气压降低到一定压力，例如降到基础压力所需要的时间。

5.2.13真空系统时间常数timeconstantofavacuumsystem

将真空容器中的压力降低到初始压力的1/e所需要的时间。在抽速恒定时，该时间常数为容器

体积除以抽气系统的抽速得出之商。

5.2.14真空系统进气时间ventingtime

经过规定的装置放人的空气使真空系统(或真空容器)内的压力由工作压力升高到较高的压力

(一般到大气压)所需要的时间。如果放入的是空气，那么该时间称作为通“大气时间”。

5.3真空容器

5.3-1真空容器;真空室vacuumchamber

根据力学计算能允许容器的压力低于环境压力的真空密封容器。

5.3.2封离真空装置sealedvacuumdevice

容器被抽空之后将其封离或者以别的方法用永久性的封接将其封离的一种真空容器。例如电子

管，X一射线管。

5.3.3真空钟罩vacuumbelljar

借助于一个可拆卸的连接件，将其放置到另一个组件(一般来说是一块底板)上并同这个组件共

同组成一个真空室的钟罩形组件。

11

Gs/'r3163一93

5.3-4真空容器底板vacuumbaseplate

真空容器底板通常位于真空设备抽气系统进气口上并包含有实施过程所必要的真空引入线

5.15真空岐管vacuummanifold

可以和两个或若干个真空容器相连可以同时进行抽气的一种真空密封分配件。

5.3.6前级真空容器(贮气罐)backingreservoir

设置在前级真空泵和其前级真空阀之间的容器。在前级真空泵断开时，它用来容纳被抽气体和

(或)平衡压力的变化。

5.3.7真空保护层outerchamber

将一个真空容器全部或部分包围的一种真空密封容器。它用来减少漏气率和(或)降低作用于器

壁的压力。真空保护层中所存在的真空称作为“保护真空”。

5.18真空闸室vacuumairlock

连接在两个不同压力空间之间的真空室。它具有能与这个或那个相接的空间相适应压力的连接

装置和能将物件从这个空间输送到那个空间而在这些空间中压力不发生干扰性变化的开孔(全

部或部分可以关闭)。一般来说这些装置和开孔用于将物件从大气送入到真空容器中或从真空

容器中取出到大气中。

5.3·9真空冷凝器;蒸汽冷凝器deviceforcondensingvapours

内部带有冷却面、设置于真空室和抽气系统之间用于冷凝大量蒸汽的一种真空容器。通常它有

一个可闭锁的冷凝液收集罐能在不中断真空过程情况下排出液体冷凝物。

5.4真空封接和真空引入线

5-4.1永久性真空封接permanentseal

不能以简单的方式加以制造或拆卸的一种真空连接。例如:钎焊的真空连接，焊接的真空连接;

玻璃一玻璃封接;玻璃一金属封接

5.4.2玻璃分级过渡封接gradedseal

由具有不同热膨胀系数的各种玻璃组成的一种永久性真空封接因此避免了在各连接元件内不

希望有的大应力(所谓麦杆式封接)

5.4-3压缩玻璃金属封接compressionglass-to-metalseal

将玻璃同金属或合金熔接在一起，并使玻璃始终处于压缩应变之下的一种永久性真空连接。

5-4-4匹配式玻璃金属封接matchedglass-to-metalseal

通过将玻璃熔接到金属或合金上所制得的密封，使金属或合金在很大的温度范围内其热膨胀系

数几乎与玻璃相同的一种永久性真空连接。

5.4.5陶瓷金属封接ceramic-to-metalseal

将陶瓷零件的金属化表面与一个金属零件钎焊在一起的一种永久性真空连接。

5.4.6半永久性真空封接semi-permanentseal

用蜡、胶、漆或类似物质接合的一种真空连接。

5.4-7可拆卸的真空封接demountablejoint

用简单的方式，一般来说用机械的方法可以拆卸又可以重新组装起来的一种真空连接

5.4-8液体真空封接liquidseal

借助于低蒸汽压液体进行密封的一种可拆卸式真空连接

5.4.9熔融金属真空封接moltenmetalseal

用低熔点金属进行密封的一种可拆卸式真空连接。加热金属使密封进行拆卸或组合。

5.4.10研磨面搭接封接groundandlappedseal

由两个经研磨的表面构成的一种可拆卸式真空连接。研磨面可以是平面形状、球形或锥状，通

常它们都涂以油脂。

BGr/'3163一93

5.4.11真空法兰连接vacuumflangeconnection

在两个法兰之间用一个适宜的可变形的密封件造成一个真空密封连接的一种可拆卸式真空连

接。

5-4.12真空密封垫vacuum-tightgasket

放置于两个零件之间的一个可拆卸的真空连接件，用其进行密封的一种可变形的构件。在某些

场合借助于支承架(例如垫圈密封)，材料的选择要视所要求的真空范围而定，通常用弹性体或

金属。

5.4门3真空密封圈ringgasket

一种环形真空密封件。

注有各种不同截面形状的真空密封圈，例如:aU”形密封圈;"V'，形密封圈，"L”形密封圈和其它型材的密封

件(金属型材密封件)。

5.4.14真空平密封垫flatgasket

用扁平材料制得的一种真空密封件。

5.4.15真空引人线feedthroughleadthrough

通过真空容器器壁使运动气体或液体、电流或电压传递或引入的一种装置。这种装置通常支承

在真空容器对大气密封的法兰上。

在真空中能用来作多种运动，一般来说作平动和旋转运动的传递运动的真空引人线称作为“多

关节操作机”

5.4.16真空轴密封shaftseal

用来密封轴的一种真空密封件，它能将旋转和(或)移动运动相对地传递到真空容器器壁内。

5.4.17真空窗vacuumwindow

装在真空容器器壁上能使电磁辐射或微粒辐射穿透的一种装置(例如列纳尔特窗)。

5.4门8观察窗viewingport

作为观察装置运转情况的一种真空窗。

注:在某些应用场合必须对观察窗的光学性能提出一定的要求

5.5真空阀门

5-5门真空阀门的特性characteristicsofvacuumvalves

主要是指真空阀门外壳对大气的真空密封性，真空阀门的流导和真空阀门的阀座漏气率。

5.5.1.1真空阀门的流导conductanceofavacuumvalve

在阀门打开状态下的气体流动的流导。

注:在样本中，真空阀门的流导常常以“当量管长