适用范围：范围:本文件规定了金属薄膜电容式真空计的缩略语、总体要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于金属薄膜电容式真空计（以下简称“真空计”）的设计、生产、检验和使用; 主要技术内容:本文件规定了金属薄膜电容式真空计的缩略语、总体要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输和贮存。本文件适用于金属薄膜电容式真空计（以下简称“真空计”）的设计、生产、检验和使用

适用范围：主要技术内容:本标准主要规定了采用薄膜电容测量原理的电容薄膜真空计的术语和定义、结构和分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、储存要求，主要技术内容包括：——预热时间、量程、分辨力、准确度、漏率等基本性能指标要求；——电磁兼容方面的要求；——各项性能指标对应的试验方法以及检验规则等要求

适用范围：范围:本文件规定了半导体薄膜沉积设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于半导体薄膜沉积设备; 主要技术内容:本文件规定了半导体薄膜沉积设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体薄膜沉积设备

适用范围：范围:本文件规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售; 主要技术内容:规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售

适用范围：范围:本文件适用于真空成膜机; 主要技术内容:本文件规定了真空成膜机的术语和定义、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存内容

适用范围：范围:本文件适用于真空蒸发镀膜机; 主要技术内容:本文件规定了真空蒸发镀膜机的术语和定义、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存内容

适用范围：本文件界定了真空技术领域常用的基础术语、真空泵及相关术语、全压和分压真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空冶金术语，及上述术语的定义。 本文件适用于真空技术领域及相关的教学、科研、设计、制造、技术交流，以及编写相关技术文件和书刊。

适用范围：范围:本文件规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。本文件适用于半导体设备用低温泵的评价; 主要技术内容:规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果

适用范围：主要技术内容:本文件规定了节能型管束干燥设备的术语和定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于节能型管束干燥机的生产和检验，其他节能型管束干燥设备可参照使用

适用范围：主要技术内容:规定了分子筛式除湿干燥机的类型和基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于分子筛式除湿干燥机

适用范围：本文件描述了机械增压泵的最大容许压差、有效压缩比、零流量压缩比和溢流阀压差的测量方法和特殊要求。本文件适用于中真空或粗真空应用的机械增压泵,包括气冷式机械增压泵及多级机械增压泵系统。本文件涵盖了机械增压泵有别于常见容积真空泵的机械增压特性。最大容许压差（Δpmax）,有效压缩比（Keff），零流量压缩比（K0）和溢流阀压差（Δp1）是机械增压泵性能的特定参数。

适用范围：本文件界定了电容薄膜真空计（CDG）的相关术语，规定了电容薄膜真空计有必要给定的参数，描述了其校准过程和操作仪器过程中有必要考虑的测量不确定度。本文件适用于使用ISO 3567和ISO 27893校准CDG，并作为参考标准时的一个补充说明。

适用范围：主要技术内容:本文件规定了消防管道气密性检测设备的术语和定义、型号、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输及贮存。本规范适用于消防管道气密性检测设备的设计及检验

适用范围：主要技术内容:本文件规定了消防管道气密性检测设备的术语和定义、型号、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输及贮存。本规范适用于消防管道气密性检测设备的设计及检验

适用范围：范围:本文件规定了工业互联网标识解析泵及真空设备行业元数据的术语和定义、元数据属性、标识符命名规则、核心元数据属性、泵产品类别、核心元数据扩展原则和方法; 主要技术内容:本文件适用于指导泵及真空设备行业各参与方如何对在应用工业互联网标识对本行业各类对象进行标识、加工、管理、维护时产生的数据进行存储记录、使用、共享、交换和查询

适用范围：主要技术内容:本文件规定了真空镀膜在线清洗装置的术语和定义、构成及原理、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于真空镀膜在线清洗装置的设计、制造和检验

适用范围：范围:本文件界定了钢包真空脱气精炼炉的术语和定义,规定了分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于对精炼钢水进行真空脱气、吹氧脱碳的钢包真空脱气精炼炉; 主要技术内容:本文件界定了钢包真空脱气精炼炉的术语和定义,规定了分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于对精炼钢水进行真空脱气、吹氧脱碳的钢包真空脱气精炼炉

适用范围：主要技术内容:本文件规定了真空熔覆金刚石技术要求的术语和定义、设备参数要求、系统运行要求、运转期间巡视要求、注意事项。本文件适用于真空熔覆金刚石系统的运行及操作

适用范围：主要技术内容:本文件规定了带式干燥机的标记、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、使用说明书、包装、运输和贮存、质量承诺。本文件适用于颗粒状、块状、片状、条状物料干燥的带式干燥机（以下简称“带干机”）

适用范围：本文件定义了与热阴极电离真空计相关的术语，并规定热阴极电离真空计制造商要给出的具体参数，以及在操作这些仪表时，需要考虑的测量不确定度分量。原因如下。 a）本文件更新了ISO 3529-3:1981中给出的一些术语和定义。 b）热阴极电离真空计通常用作参考标准，本文件为适用的实验室明确规定了便于在高真空和超高真空下正确校准真空计的相关信息。使用电离真空计开展高真空和超高真空的可溯源压力测量时，适于在制造商说明书中引述含有真空计相关参数和特征的信息。 c）本文件还列出了与电离真空计压力测量相关的重要的不确定度分量，也给出了这些不确定度分量的评估指南。对于某些当前或未来的真空计来说，不确定度分量的清单可能并不全面。 d）将电离真空计用作参考标准时，本文件是对ISO/TS 3567和 ISO/TS 27893的补充。