GB/T 40344.3-2024 真空技术 真空泵性能测量标准方法 第3部分：机械增压泵的特定参数

ICS23.160

CCSJ78

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT40344.32024ISO21360-32019

真空技术真空泵性能测量标准方法

:

第部分机械增压泵的特定参数

3

—

VacuumtechnoloStandardmethodsformeasurinvacuumum

gygpp

—:

erformancePart3Secificarametersformechanicalboostervacuumums

ppppp

(:,)

ISO21360-32019IDT

2024-04-25发布2024-04-25实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—/:

GBT40344.32024ISO21360-32019

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4符号………………………2

5试验条件…………………2

6试验装置…………………3

6.1基本要求……………3

6.2原理图………………3

6.3测试泵上的测试罩…………………4

6.4前级管路上的缓冲罐………………5

6.5真空计………………5

7试验方法…………………5

最大容许压差()的测量………………………

7.1Δpmax5

压缩比()的测试报告……………

7.2K05

有效压缩比()的测量……………

7.3Keff6

溢流阀压差()的测量…………

7.4Δp16

8测试报告…………………7

8.1总则…………………7

8.2泵参数报告…………………………7

8.3测试设备和条件报告………………7

8.4运行参数报告………………………7

()…………………

附录规范性测试罩

A8

()………………

附录资料性前级管路和返冷气体管路

B9

()…………

附录资料性测量不确定度

C11

参考文献……………………13

Ⅰ

/—/:

GBT40344.32024ISO21360-32019

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/《》。/

本文件是真空技术真空泵性能测量标准方法的第部分已经发

GBT403443GBT40344

布了以下部分:

———:;

第部分总体要求

1

———:;

第部分容积真空泵

2

———:。

第部分机械增压泵的特定参数

3

:《:

本文件等同采用真空技术真空泵性能测量标准方法第部分机械增压泵

ISO21360-320193

的特定参数》。

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由中国机械工业联合会提出。

(/)。

本文件由全国真空技术标准化技术委员会SACTC18归口

:、、、

本文件起草单位浙江真空设备集团有限公司淄博真空设备厂有限公司浙江飞越机电有限公司

、、()、

沈阳汇真真空技术有限公司湖南维格磁流体股份有限公司伯仲山东工业设备有限公司安徽万瑞

、、、、

冷电科技有限公司广州涂氏精怡科技有限公司惠州市宇之光科技有限公司广东唯沃科技有限公司

、、、

深圳华星恒泰泵阀有限公司上海汉钟精机股份有限公司湖南凯利特泵业有限公司深圳市恒运昌真

、、、

空技术有限公司中核第七研究设计院有限公司杭州新安江工业泵有限公司四川新途流体控制技术

、、、、、

有限公司泰兴新型工业泵厂南京真空泵厂有限公司台州学院浙江博亚精密机械有限公司佛山市

、、、

博顿光电科技有限公司中山火炬职业技术学院北京通嘉宏瑞科技有限公司沈阳真空技术研究所有

限公司。

:、、、、、、、、、、

本文件主要起草人许涛罗根松钟云会王西龙徐法俭蒋友荣宋青竹乔忠路言继春王功发

、、、、、、、、、、、、、、

贾增安丁怀况涂进红蒋振兰张海鹰熊颖申付娜李霞熊军乐卫平闫昊方驭邱伟平杨军

、、、、、、、、、、、、、。

戴光荣郑新余胡世苓冯磊张莉张永炬陆学贵吴晓云冀鸣刘伟基石澎魏民何赞赞王玲玲

Ⅲ

/—/:

GBT40344.32024ISO21360-32019

引言

,,

原有的真空泵标准体系中对某些种类真空泵性能参数的测量提出了各自的要求测量装置和性能

,。,

测量方法等内容多有重复且表述不清晰特定真空泵标准的制定以总体要求为基础依据各自的特性

、。,

来测定性能数据极限值和特定运行条件当特定真空泵的测量方法与总体要求存在差异时以特定标

。/《》

准为准真空技术真空泵性能测量标准方法旨在从真空泵性能共性和特性的角度提

GBT40344

,,。

出标准测量方法即总体要求和特定真空泵标准拟由六个部分构成

———:。,

第部分总体要求旨在提供一份用于测量真空泵性能参数的基础文件简化了今后对特定

1

。,、

真空泵标准的制定包含了三种体积流率的测量方法以及真空泵基础压力压缩比和临界前

级压力的测量方法。

———:。,

第部分容积真空泵旨在以总体要求为基础对容积真空泵的性能测量标准方法加以补

2

,、、、。

充包含了容积真空泵的体积流率基础压力水蒸气容限功耗和最低启动温度的测量方法

———:。、、

第部分机械增压泵的特定参数旨在描述机械增压泵的最大容许压差有效压缩比零流

3

量压缩比和溢流阀压差的测量方法和特殊要求。

———:。,

第部分涡轮分子泵旨在以总体要求为基础对涡轮分子泵的性能测量标准方法加以

4

补充。

———:。,

第部分非蒸散吸气剂泵旨在以总体要求为基础对非蒸散吸气剂泵的性能测量标准方法

5

加以补充。

———:。,

第部分低温真空泵旨在以总体要求为基础对低温真空泵的性能测量标准方法加以

6

补充。

Ⅳ

/—/:

GBT40344.32024ISO21360-32019

真空技术真空泵性能测量标准方法

:

第部分机械增压泵的特定参数

3

1范围

、、

本文件描述了机械增压泵的最大容许压差有效压缩比零流量压缩比和溢流阀压差的测量方法和

特殊要求。

,。

本文件适用于中真空或粗真空应用的机械增压泵包括气冷式机械增压泵及多级机械增压泵系统

。(),

本文件涵盖了机械增压泵有别于常见容积真空泵的机械增压特性最大容许压差Δpmax有效压

(),()()。

缩比Keff零流量压缩比K0和溢流阀压差Δp1是机械增压泵性能的特定参数

2规范性引用文件

。,

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

,;,()

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

本文件。

:(——:

真空技术术语第部分一般术语

ISO3529-11VacuumtechnoloVocabularPart1

gyy

)

Generalterms

注:/—真空技术术语(:,)

GBT31632007ISO35291981MOD

:(—

真空技术术语第部分真空泵和相关术语

ISO3529-22Vacuumtechnology

—:)

VocabularPart2Vacuumumsandrelatedterms

ypp

注:/—真空技术术语(:,)

GBT31632007ISO35291981MOD

真空计与标准真空计直接比较校准(—

ISO3567VacuumauesCalibrationbdirectcomar-

ggyp

)

isonwithareferenceaue

gg

注:/—真空计与标准真空计直接比较校准(:,)

GBT348732017ISO35672011IDT

::(

真空技术真空泵性能测量标准方法第部分总体要求

ISO21360-120121Vacuumtech-

——:)

noloStandardmethodsformeasurinvacuum-umerformancePart1Generaldescrition

gygpppp

:/—:(:,)

注真空技术真空泵性能测量标准方法第部分总体要求

GBT40344.120211ISO21360-12020IDT

3术语和定义

和界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

ISO3529-1ISO3529-2

3.1

机械增压泵mechanicalboostervacuumum

pp

,,

基于机械原理在前级泵和高真空泵或工艺腔之间使用用以提高中真空或粗真空应用中抽气系统

,,。

的流量或改善系统内的压缩从而降低前级泵所需体积流率的真空泵

:。

注多个机械增压泵串联在一起以获得更高的性能

1

:,。

注在某些应用中机械增压泵也用于气体再循环

2

[::,,—“”“”,“

来源ISO3529-219812.4.6有修改增加了基于机械原理和或工艺腔的表述用中真空

”“”,“”“”。]

应用或粗真空应用代替了中间压力范围用压缩替代了压力分布

1