GB/T 43916-2024 真空技术 真空计 电容薄膜真空计的规范、校准和测量不确定度

ICS23.160

CCSJ78

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT439162024ISO201462019

真空技术真空计电容薄膜真空计的

、

规范校准和测量不确定度

——,

VacuumtechnoloVacuumauesSecificationscalibrationand

gyggp

measurementuncertaintiesforcaacitancediahramaues

ppggg

(:,)

ISO201462019IDT

2024-04-25发布2024-04-25实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—/:

GBT439162024ISO201462019

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

3.1组成…………………2

3.2物理参数……………2

3.3其他参数……………3

4缩略语……………………5

5电容薄膜真空计…………………………5

5.1原理…………………5

6电容薄膜真空计规范……………………6

6.1电容薄膜真空计类型………………6

6.2规管温度控制………………………6

6.3信号输出单元的显示和测量………………………6

6.4电容薄膜真空计的测量范围………………………6

6.5目标测量不确定度…………………6

6.6零点和全量程的温度系数…………7

6.7分辨力………………7

6.8规管响应时间………………………7

6.9预热时间……………7

()…………

6.10允许压力最大负载压力7

()………………

6.11破坏压力爆破压力7

6.12接触气体的材料……………………7

6.13规管安装方向………………………7

6.14腔室的接口…………………………7

6.15内部容积……………7

6.16接口和引脚连接……………………7

6.17规管和控制器的兼容性……………7

6.18规管和控制器的尺寸和质量………………………8

()………………

6.19常规工作环境条件8

6.20储存和运输条件……………………8

6.21供电要求……………8

()………………………

7电容薄膜真空计附加可选规范8

Ⅰ

/—/:

GBT439162024ISO201462019

()………………

7.1复现性长期稳定性8

7.2零点的倾斜效应……………………8

7.3零点重复性…………………………8

7.4加压至满量程后的零点耐久度……………………8

7.5加压至满量程后的量程耐久度……………………8

7.6加压至允许压力后的零点耐久度…………………8

7.7加压至允许压力后的量程耐久度…………………9

7.8更新间隔……………9

7.9连接管内径…………………………9

7.10缆线长度……………9

7.11压力设定点…………………………9

7.12照片…………………9

7.13检测记录和校准证书………………9

8校准………………………9

8.1校准程序……………9

8.2校准不确定度………………………10

8.3校准证书……………10

9使用中的测量不确定度…………………10

()………………………

附录资料性热流逸效应补偿

A11

参考文献……………………14

Ⅱ

/—/:

GBT439162024ISO201462019

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

:《、

本文件等同采用真空技术真空计电容薄膜真空计的规范校准和测量不确

ISO201462019

定度》。

本文件做了下列最小限度的编辑性改动:

———对图A.1中的符号补充了标引序号说明。

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由中国机械工业联合会提出。

(/)。

本文件由全国真空技术标准化技术委员会SACTC18归口

:、、、

本文件起草单位中国计量科学研究院上海振太仪表有限公司兰州空间技术物理研究所淄博市

、、、、

计量技术研究院安徽歌博科技有限公司湖南维格磁流体股份有限公司安徽万瑞冷电科技有限公司

、、、

沈阳汇真真空技术有限公司广州涂氏精怡科技有限公司惠州市宇之光科技有限公司广东唯沃科技

、、、

有限公司河南华佳新材料技术有限公司深圳市恒运昌真空技术有限公司中核第七研究设计院有限

、、、、

公司安徽精一门科技发展有限公司四川新途流体控制技术有限公司中科九微科技有限公司沈阳真

空技术研究所有限公司。

:、、、、、、、、、、

本文件主要起草人于红燕王金库丁基敏唐云剑成永军高翔孙雯君崔永凤朱迎青言继春

、、、、、、、、、、、、、

言文静丁怀况宋青竹李智慧涂进红蒋振兰张海鹰刘宝灵乐卫平李峥鸣潘周周廷志孙围华

、、、、、。

赵澜裴晓强吴成耀丁栋刘君明王玲玲

Ⅲ

/—/:

GBT439162024ISO201462019

真空技术真空计电容薄膜真空计的

、

规范校准和测量不确定度

1范围

(),,

本文件界定了电容薄膜真空计CDG的相关术语规定了电容薄膜真空计有必要给定的参数描

述了其校准过程和操作仪器过程中有必要考虑的测量不确定度。

,。

本文件适用于使用和校准并作为参考标准时的一个补充说明

ISO3567ISO27893CDG

2规范性引用文件

。,

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

,;,()

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

本文件。

:(——:

真空技术术语第部分一般术语

ISO3529-11VacuumtechnoloVocabularPart1

gyy

)

Generalterms

注:/—真空技术术语(:,)

GBT31632007ISO35291981MOD

:(——

真空技术术语第部分全压和分压真空计

ISO3529-33VacuumtechnoloVocabular

gyy

:)

Part3Totalandartialressurevacuumaues

ppgg

注:/—真空技术术语(:,)

GBT31632007ISO35291981MOD

真空计与标准真空计直接比较校准(—

ISO3567VacuumauesCalibrationbdirectcomar-

ggyp

)

isonwithareferenceaue

gg

注:/—真空计与标准真空计直接比较校准(:,)

GBT348732017ISO35672011IDT

真空技术真空计与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定(

ISO27893Vacuumtech-

——

noloVacuumauesEvaluationoftheuncertaintiesofresultsofcalibrationsbdirectcomari-

gyggyp

)

sonwithareferenceaue

gg

注:/—真空技术真空计与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定(:

GBT348762017ISO27893

,)

2011IDT

/:[

测量不确定度第部分测量不确定度表示指南

ISOIECGuide98-33Uncertaintofmeas-

y

—:(:)]

urementPart3GuidetotheexressionofuncertaintinmeasurementGUM1995

py

注:/—测量不确定度的评定与表示(/,)

GBT274182017ISOIECGuide98-3MOD

/国际计量学词汇基础和通用概念及相关术语()[

ISOIECGuide99VIMInternationalvocabu-

—()]

larofmetroloBasicandeneralconcetsandassociatedtermsVIM

ygygp

3术语和定义

、、、、/、/界定的以

ISO3529-1ISO3529-3ISO3567ISO27893ISOIECGuide98-3ISOIECGuide99

及下列术语和定义适用于本文件。

1