GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
GB/T 30857-2014 Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates
国家标准
中文简体
现行
页数：5页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2014-07-24
实施日期
2015-04-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本标准规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片、研磨片、抛光片(简称衬底片)厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法。
本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。
本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。
发布历史
-
2014年07月
研制信息
- 起草单位：
- 协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司
- 起草人：
- 魏明德、黄朝晖、刘逸枫、杭寅、徐永亮
- 出版信息：
- 页数：5页 | 字数：6 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS77.040
H21
中华人民共和国国家标准
/—
GBT308572014
蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
Standardtestmethodforthicknessandthicknessvariationonsahiresubstrates
pp
2014-07-24发布2015-04-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
/—
GBT308572014
前言
本标准按照/—给出的规则起草。
GBT1.12009
定制服务
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