国际标准分类(ICS)
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31 电子学
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77 冶金
79 木材技术
85 造纸技术
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现行译:GB/T 43661-2024 Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes(ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes适用范围:本文件描述了用于测量扫描电容显微镜(scanning capacitance microscope,SCM)或扫描扩展电阻显微镜(scanning spreading resistance microscope,SSRM)空间(横向)分辨的方法,该方法涉及使用锐边的器件。这2种显微镜广泛应用于半导体器件的载流子分布成像和其他电学特性的测量。【国际标准分类号(ICS)】 :71.040.40化学分析 【中国标准分类号(CCS)】 :G04基础标准与通用方法发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2024-03-15 | 实施时间: 2024-10-01收藏
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