• 标准状态 
  1. 全部
  2. 现行
  3. 即将实施
  4. 被代替
  5. 废止
  6. 废止转行标
• 发布年份 
  1. 全部
  2. 2025
  3. 2024
  4. 2023
  5. 2022
  6. 2021
  7. 2020及以前

• 被代替
  GB/T 15872-1995 半导体设备电源接口
  译：GB/T 15872-1995 Power supply interface for semiconductor equipment
  【国际标准分类号(ICS)】 ：31.220.10插头和插座装置、连接器 【中国标准分类号(CCS)】 ：L97加工专用设备
  发布单位或类别：(CN-GB)国家标准 | 发布时间： 1995-12-22 | 实施时间： 1996-08-01
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• 现行
  GB/T 15873-1995 半导体设施接口技术文件编写导则
  译：GB/T 15873-1995 Directives for drafting semiconductor facilities interface specification
  【国际标准分类号(ICS)】 ：31.220.10插头和插座装置、连接器 【中国标准分类号(CCS)】 ：L97加工专用设备
  发布单位或类别：(CN-GB)国家标准 | 发布时间： 1995-12-22 | 实施时间： 1996-08-01
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• 现行
  GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板
  译：GB/T 15871-1995 Hard surface photomask substrates
  【国际标准分类号(ICS)】 ：31.030电子技术专用材料 【中国标准分类号(CCS)】 ：L97加工专用设备
  发布单位或类别：(CN-GB)国家标准 | 发布时间： 1995-12-22 | 实施时间： 1996-08-01
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• 被代替
  GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件
  译：GB/T 15861-1995 Generic specification of ion beam etching system
  【国际标准分类号(ICS)】 ：31.200集成电路、微电子学 【中国标准分类号(CCS)】 ：L97加工专用设备
  发布单位或类别：(CN-GB)国家标准 | 发布时间： 1995-12-22 | 实施时间： 1996-08-01
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• 现行
  GB/T 15394-1994 多探针测试台通用技术条件
  译：GB/T 15394-1994 General specification for probe tester
  【国际标准分类号(ICS)】 ：31.240电子设备用机械构件 【中国标准分类号(CCS)】 ：L97加工专用设备
  发布单位或类别：(CN-GB)国家标准 | 发布时间： 1994-12-28 | 实施时间： 1995-08-01
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• 废止
  GB/T 14276-1993 绕接工具总规范
  译：GB/T 14276-1993 Wire wrapping tools,General specification for
  【国际标准分类号(ICS)】 ：29.020电气工程综合 【中国标准分类号(CCS)】 ：L97加工专用设备
  发布单位或类别：(CN-GB)国家标准 | 发布时间： 1993-04-03 | 实施时间： 1993-11-01
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• 废止
  GB/T 13840-1992 晶片承载器
  译：GB/T 13840-1992 Wafer carriers
  【国际标准分类号(ICS)】 ：77.120.99其他有色金属及其合金 【中国标准分类号(CCS)】 ：L97加工专用设备
  发布单位或类别：(CN-GB)国家标准 | 发布时间： 1992-12-28 | 实施时间： 1993-08-01
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• 废止
  GB/T 13947-1992 电子元器件塑料封装设备通用技术条件
  译：GB/T 13947-1992 General specification for electronic components plastic packaging equipments
  【国际标准分类号(ICS)】 ：31.020电子元器件综合 【中国标准分类号(CCS)】 ：L99其他生产设备
  发布单位或类别：(CN-GB)国家标准 | 发布时间： 1992-12-17 | 实施时间： 1993-08-01
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