适用范围：本文件规定了以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X射线能谱仪最重要的特性参数。 本文件仅适用于使用基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。 本文件规定了与扫描电子显微镜(SEM)或电子探针显微分析仪(EPMA)联用的此类能谱仪性能参数的最低要求及核查方法。用于能谱分析的程序,已由ISO 22309[2]和ASTM E1508[3]规范,不在本文件范围之内。

适用范围：本文件描述了用于电子探针分析的金属与合金块状试样的制备方法。 本文件适用于电子探针或配备能谱或波谱仪的扫描电镜定量分析用的标准样品和试样。 本文件不适用于制备颗粒度小于5 μm或厚度小于4 μm的试样。

适用范围：本文件规定了采用电子束显微技术分析钢铁材料缺陷的仪器设备、分析方法与程序、分析报告等。 本文件适用于钢铁材料内部及表面缺陷的电子束显微分析。

适用范围：本文件规定了电子探针显微分析仪（电子探针)定量分析的仪器设备、标准样品、试样制备、测量前的准备、测量条件的选择、测量过程、电子束入射电流的测量、各元素质量分数的计算、测量不确定度的评定和结果报告。 本文件适用于电子探针对试样中各元素的定量测量及数据处理，带有波谱仪的扫描电镜的定量分析参照执行。

适用范围：范围:本文件规定了远程等离子体源的解离率测试方法的术语和定义、原理、符号与缩略语、测试环境条件、仪器设备及样品、操作准备、测试步骤、数据处理、测量不确定度、试验报告。本文件适用于泛半导体表面处理、清洗等应用场合中，通入气流量60 SLM、功率40 kW以内远程等离子体源的解离率测试; 主要技术内容:规定了远程等离子体源的解离率测试方法的术语和定义、原理、符号与缩略语、测试环境条件、仪器设备及样品、操作准备、测试步骤、数据处理、测量不确定度、试验报告

适用范围：本文件描述了应用透射电子显微镜/扫描透射电子显微镜（TEM/STEM)技术测定金属材料中纳米级第二相颗粒数密度的方法。 本文件适用于测定金属材料中弥散分布、粒径在几纳米至几十纳米范围的第二相颗粒的数密度。被测颗粒的平均尺寸宜在透射电镜试样厚度的约1/3以下，且试样中的颗粒在透射电镜图像上没有互相重叠或很少重叠。颗粒尺寸不在这个范围的试样可参照执行，其他晶体材料可参照执行。 本方法不适于测定聚集成团的第二相颗粒的数密度。 注1:可测定的最小颗粒尺寸取决于所用TEM/STEM设备的分辨率和采用的实验技术。 注2:待测定的第二相颗粒尺寸通常在5 nm~40 nm范围。 注3:TEM图像上若出现第二相颗粒重叠的情况，将增大颗粒计数的不确定度。

适用范围：本文件确立了采用微波等离子体原子发射光谱仪对样品中金属和部分非金属元素进行定性和定量分析的通用规则。本文件适用于采用微波等离子体原子发射光谱仪以液体进样方式对样品中常量至痕量金属和部分非金属元素的定性、定量分析。本文件不适用于固体直接进样方式。

适用范围：本文件描述了用安装在扫描电镜（SEM)或电子探针（EPMA)上的能谱仪对试样上特定点或特定区域进行定量分析的方法。定量分析是指用质量分数(百分数)表示元素的含量。正确鉴别试样中所有元素是定量分析中必不可少的组成部分，因此，本文件也包含这方面的内容。本文件描述了多种能谱法定量分析方法。 本文件适用于利用参考物质或“无标样”程序对质量分数高于1％的、原子序数Z>10的元素进行定量分析。 本文件也给出了对原子序数小于11的轻元素分析方法的信息。 注： 当没有重叠峰，并且相应的特征X射线被强烈地激发时，能谱仪也可以测量质量分数在0.1％水平的元素。本文件主要应用于表面平整试样的定量分析，基本方法也适用于表面不平整试样的分析，但会引入附加的不确定度分量。 目前没有公认的轻元素的准确能谱法（EDS)定量分析方法，以下是几种常用于轻元素分析的 EDS方法。 a) 测量峰面积并对比峰强度。如附录 A 中所述的原因，这种方法对轻元素分析结果的不确定度比重元素大。 b) 当已知试样中的轻元素以化学计量的方式与重元素（Z>10)结合时，该轻元素的浓度可以通过与其他元素的相关浓度比进行测定。这种方法通常用于硅酸盐矿物试样中氧的测定。 c) 通过差值法计算浓度，即用100％ 减去能够分析元素的总百分数即为轻元素的百分数。这种方法只有在很好的束流稳定性和单独测量至少一个参考样品的条件下才能够应用，并且还需要精确测定试样中的其他元素。 附录A总结了重元素存在时轻元素定量分析中的问题。如果仪器上安装了能谱仪和波谱仪（WDS)，可以用WDS来克服EDS分析中的低能量谱峰重叠问题。然而，许多其他问题对于这两种技术来说都是共同的。

适用范围：范围:本文件规定了扫描电镜图片类材料实验数据存储的一般要求以及其他信息要求。 本文件适用于扫描电镜图片类实验数据的存储; 主要技术内容:本文件规定了扫描电镜图片类材料实验数据存储的一般要求以及其他信息要求。本文件适用于扫描电镜图片类实验数据的存储

适用范围：本文件描述了用透射电子显微镜/扫描透射电子显微镜测定薄晶体试样厚度的会聚束电子衍射方法。本文件适用于测定线度为几十纳米至几百微米、厚度在几十纳米至几百纳米范围内的薄晶体试样厚度。注： 由于透射电子显微镜薄试样的厚度往往不均匀，用会聚束衍射方法测定的是试样被电子束照明区的局域厚度。

适用范围：本标准规定了用电子探针测定碳钢和低合金钢（铁质量分数大于95%）中硅、锰含量的校准曲线法。本标准适用于电子探针波谱仪，不适用于能谱仪。带波谱仪的扫描电镜可以参照使用。

适用范围：本标准规定了采用四极杆电感耦合等离子体质谱仪（简称Q-ICP-MS)对样品中金属和部分非金属元素进行检测的方法原理、试剂和材料、仪器设备、样品要求、分析步骤及方法、结果报告和安全注意事项等内容和要求。 本标准适用于采用四极杆电感耦合等离子体质谱仪以液体和气体进样方式对样品中所含元素的定性、半定量及定量分析。 本标准不适用于固体直接进样方式。

适用范围：本标准规定了使用X射线衍射仪，在测试中对样品进行旋转，从而确定晶体材料取向的测试方法。 本标准适用于晶体材料取向的测试。

适用范围：本标准规定了近红外光谱定性分析的基本原理和方法、使用软件、仪器设备、光谱测量、样品、定性分析试验步骤、试验数据处理、试验报告等内容的通用要求。

适用范围：本标准规定了物质中元素同位素组成质谱仪分析的一般方法。 本标准适用于热电离质谱仪(TIMS)、电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)、气体稳定同位素比质谱仪(GSIRMS)类型仪器测量同位素组成。

适用范围：本标准规定了粉煤灰中二氧化硅含量的X射线荧光分析方法。 本标准适用于粉煤灰中二氧化硅含量的测定。

适用范围：本标准规定了用安装在扫描电镜(SEM)或电子探针(EPMA)上的能谱仪对试样上特定点或特定区域进行定量分析的方法。定量分析是指用质量分数(百分数)表示元素的含量。正确鉴别试样中所有元素是定量分析中必不可少的组成部分，因此，本标准也包含这方面的内容。本标准提供了多种能谱法定量分析方法，本标准适用于利用参考物质或“无标样”程序对质量分数高于1％的元素进行定量分析。本标准对原子序数大于10的元素的分析置信度更高。 本标准也规定了对原子序数小于11的轻元素的分析方法。 注： 当没有重叠峰，并且相应的特征X射线被强烈地激发时，能谱仪也可以测量质量分数在0.1％水平的元素。本标准主要应用于表面平整试样的定量分析，基本方法也适用于表面不平整试样的分析，但会引入附加的不确定度分量。 目前没有公认的轻元素的准确能谱仪（EDS）定量分析方法，以下是几种常用于轻元素分析的EDS方法： a)测量峰面积并对比峰强度。如附录D中所述的原因，这种方法对轻元素分析结果的不确定度比重元素大。 b)当已知试样中的轻元素以化学计量的方式与重元素(Z>10)结合时，该轻元素的浓度可以通过与其他元素的相关浓度比进行测定。这种方法通常用于硅酸盐矿物试样中氧的测定。 c)通过差值法计算浓度，即用100％减去能够分析元素的总百分数即为轻元素的百分数。这种方法只有在很好的束流稳定性和单独测量至少一个参考样品的条件下才能够应用，并且还需要精确测定样品中的其他元素。 附录D总结了重元素存在时轻元素定量分析中的问题。如果仪器上安装了能谱仪和波谱仪(WDS)，可以用WDS来克服EDS分析中的低能量谱峰重叠问题。

适用范围：本标准规定了扫描电镜能谱仪化学成分定量分析相关参数的测定方法。 本标准适用于对扫描电镜中影响定量分析性能的相关参数和能谱仪基本参数的测定，并以元素成分定量分析结果对仪器做出综合分析。

适用范围：本部分规定了密度测定与电子探针分析（或X射线荧光分析、二次离子质谱分析）相结合，测定黄金制品中金含量的方法。 本部分适用于无损测定金含量不小于75％的合金型煅压成型的黄金制品。 本部分不适用有气泡的浇铸成型的或中空的或有镀层的黄金制品。