YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法
YS/T 1124-2016 Testing method on pass through flux of magnetic sputtering target
行业标准-有色金属
中文简体
现行
页数：5页
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格式：PDF
基本信息
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
发布日期
2016-07-11
实施日期
2017-01-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。
本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。
本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。
发布历史
-
2016年07月
研制信息
- 起草单位：
- 有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院
- 起草人：
- 罗俊锋、万小勇、向磊、丁照崇、李勇军、何金江、徐国进、夏乾坤、刘晓、王越
- 出版信息：
- 页数：5页 | 字数：6 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS77.120.99
H21
中华人民共和国有色金属行业标准
—
YST11242016
磁性溅射靶材透磁率测试方法
Testinmethodonassthrouhfluxofmaneticsutterintaret
gpggpgg
2016-07-11发布2017-01-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
—
YST11242016
前言
本标准按照/—给出的规则起草。
GBT1.12009
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(/)提出并归口。
定制服务
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