YS/T 893-2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材

ICS77.150.50

H64

中华人民共和国有色金属行业标准

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YST8932013

电子薄膜用高纯钛溅射靶材

Hih-uritsutterintitaniumtaretusedinelectronicfilm

gpypgg

ㅤㅤㅤㅤ

2013-10-17发布2014-03-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

/—

YST8932013

电子薄膜用高纯钛溅射靶材

1范围

、、、、、

本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求试验方法检验规则和标志包装运输贮存及

()。

质量证明与合同订单等内容

本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。

2规范性引用文件

。,

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,()。

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

/产品几何技术规范()表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值

GBT1031GPS

/、、

海绵钛钛及钛合金化学分析方法氧量氮量的测定

GBT4698.7

/、

海绵钛钛及钛合金化学分析方法碳量的测定

GBT4698.14

/、

海绵钛钛及钛合金化学分析方法氢量的测定

GBT4698.15

/金属平均晶粒度测定方法

GBT6394

GJB1580A变形金属超声检验方法

/溅射靶材背板结合质量超声波检验方法

YST837-

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/高纯钛化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法

YST891

/高纯钛化学分析方法痕量杂质元素的测定电感耦合等离子体质谱法

YST892

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

靶材taret

g

。、

在溅射沉积技术中的阴极部分该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子原子或离子的形

式脱离阴极而在阳极表面沉积。

3.2

靶坯taretblank

g

阴极上用作溅射材料的部分。

3.3

背板backinlate

gp

。(、)、、

用来支撑或固定靶材的部分靶坯与背板可以通过焊接如钎焊扩散焊等机械复合粘接等方

式连接。

4要求

4.1产品分类

,。

产品按照结构形式分为单体和复合两种示意图如图所示

4.1.11

1

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YST8932013

、()。

4.1.2按照形状分类主要为圆形矩形和异型如三角形等

、。

4.1.3靶材的背板可包括铜及铜合金铝及铝合金等

)复合靶材)单体靶材

ab

图1靶材结构示意图

4.2化学成分

产品化学成分应符合表规定。

1

表1高纯钛溅射靶材的化学成分表

/,

Ti质量分数%不小于99.999.99599.999

纯度简称3N4N55N

Ag100.20.2

Al1005.02.0

B—0.10.1

Ca20—1.0

Co—1.00.1

ㅤㅤㅤㅤ

Cr4005.01.0

Cu