YS/T 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
YS/T 837-2012 Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies
基本信息
本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。
发布历史
-
2012年11月
研制信息
- 起草单位：
- 有研亿金新材料股份有限公司、中国计量科学研究院、航天703所
- 起草人：
- 刘红宾、尚再艳、何金江、王欣平、熊晓东、吕保国、江轩、朱晓光、王永辉、何双起、杨平
- 出版信息：
- 页数：9页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS77.120.99
H68
中华人民共和国有色金属行业标准
/—
YST8372012
溅射靶材背板结合质量超声波检验方法
-
Standardracticeforultrasonic
p
C-scanbondevaluationofsutterintaret-backinlateassemblies
pㅤㅤㅤㅤgggp
2012-11-07发布2013-03-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
/—
YST8372012
溅射靶材背板结合质量超声波检验方法
-
1范围
、、、、
本标准规定了溅射用靶材背板结合质量检验方法的一般要求检验设备对比试块检验过程缺
-
,。
陷评定及检验报告等该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法扫描检验技术
C
(、)
本标准适用于用中间层材料结合方式如软钎焊硬钎焊和环氧树脂粘接等的溅射靶材背板结合
-
、、。。
面的孔洞未结合氧化物夹杂等缺陷的检验其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用
2规范性引用文件
。,
下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文
。,()。
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件
:
机械电气安全机械电气设备第部分通用技术条件
GB5226.11
/无损检测人员资格鉴定与认证
GBT9445
/无损检测超声检测用钢参考试块的制作与检验方法
GBT11259
/无损检测术语超声检测
GBT12604.1
/:
机床检验通则第部分在无负荷或精加工条件下机床的几何精度
GBT17421.11
/:ㅤㅤㅤㅤ
机床检验通则第部分数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定
GBT17421.22
/:、
加工中心检验条件第部分进给率速度和插补精度检验
GBT18400.66
/无损检测超声检验探头及其声场的表征
GBT18694
/无损检测超声检验测量接触探头声束特性的参考试块和方法
GBT18852
GJB1580A变形金属超声检验方法
GJB9712A无损检测人员资格鉴定与认证
/:
加工中心检验条件第部分线性和回转轴线的定位精度和重复定位精度检验
JBT8771.44
/工业控制计算机系统安装环境条件
JBT9269
3术语和定义
/界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
GBT12604.1
3.1
超声波ultrasonicwave
,。
频率超过人耳可听范围的声波此频率的下限一般取为20kHz
3.2
纵波lonitudinalwave
g
压缩波comressionalwave
p
,。
在介质中传播时介质质点的振动方向与波传播方向平行的声波波型
3.3
探头robe()
psearchunit
,。
电声转换器件通常由一个或多个用以发射或接收或既发射又接收超声波的换能器组成
-
1
/—
YST8372012
3.4
焦距focallenth
g
聚焦探头从焦点到声源的距离。
3.5
增益ain
g
、、,、。()。
对元器件电路设备或系统其电流电压或功率增加的程度通常以分贝dB数来规定
3.6
闸门ate
g
时间闸门timeate
g
,。
用电子学方法选择时基线的一段以监视其中的信号或做进一步处理
3.7
平底孔()
flatbottomholeFBH
圆盘缺陷discflaw
圆盘形反射体discshaedreflector
p
平面的圆盘形反射体。
3.8
对比试块referenceblock
,。
与受检件或材料化学成分相似含有意义明确参考反射体的试块用以调节超声检验设备的幅度
(),。
和或时间分度以将所检出的不连续信号与已知反射体所产生的信号相比较
3.9
扫描显示/ㅤㅤㅤㅤ
CC-scandislaresentation
pyp
,,。
受检件的二维平面显示按探头扫描位置绘制幅度或声程在预置范围内的回波信号的存在
4一般要求
4.1人员
从事溅射靶材背板结合质量超声扫描检验的人员必须符合/或的相关资
-CGBT9445GJB9712A
,。
质要求并具有一定水浸超声扫描工作经验
C
4.2待检验工件
,
推荐标准
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