GB/T 16596-1996 确定晶片坐标系规范
GB/T 16596-1996 Specification for establishing a wafer coordinate system
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
1996-11-04
实施日期
1997-04-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
中国有色金属工业总公司标准计量研究所
适用范围
-
发布历史
-
1996年11月
-
2019年03月
研制信息
- 起草单位：
- 中国有色金属工业总公司标准计量研究所
- 起草人：
- 吴福立
- 出版信息：
- 页数：5页 | 字数：6 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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