GB/T 32218-2015 真空技术 真空系统漏率测试方法

ICS23.160

J78

中华人民共和国国家标准

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GBT322182015

真空技术真空系统漏率测试方法

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VacuumtechnoloTestmethodsforleakratesofvacuumsstem

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2015-12-10发布2017-01-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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GBT322182015

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4测试原理…………………1

4.1氦质谱法真空系统漏率测试原理…………………1

4.2静态升压法真空系统漏率测试原理………………2

5仪器与设备………………2

5.1检漏仪和检漏系统…………………2

5.2标准漏孔……………2

5.3真空计………………2

5.4氦罩…………………2

5.5累积阀………………2

5.6测试阀………………2

6测试条件…………………2

6.1测试场地的环境要求………………2

6.2氦气………………