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SJ 21441-2018 SiC-HPSI 型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范

SJ 21441-2018 Specification for high purity semi-insulating silicon carbide monocrystalline wafers of SiC-HPSI

行业标准-电子 中文(简体) 现行 页数：24页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
SJ 21441-2018
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
2018-01-18
实施日期
2018-05-01
发布单位/组织
-
归口单位
工业和信息化部电子第四研究院
适用范围
本规范规定了SiC-HPSI型高纯半绝缘碳化硅单晶片的技术要求、质量保证规定、交货准备等。本规范适用于SiC-HPSI型高纯半绝缘碳化硅单晶片(以下简称碳化硅单晶片)

发布历史

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SJ 21441-2018 SiC-HPSI 型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范-第1页
SJ 21441-2018 SiC-HPSI 型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范-第2页
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SJ 21441-2018 SiC-HPSI 型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范-第4页
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SJ 21441-2018 SiC-HPSI 型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范-第6页
SJ 21441-2018 SiC-HPSI 型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范-第7页

研制信息

起草单位：
中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草人：
窦瑛、齐海涛、杨丹丹、高飞、洪颖、孟大磊、张政、张皓、郑风振、牛栋华
出版信息：
页数：24页 | 字数：- | 开本： -

内容描述

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