GB/T 28277-2012 硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法

ICS31.200

L55

中华人民共和国国家标准

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GBT282772012

硅基MEMS制造技术

微键合区剪切和拉压强度检测方法

Silicon-basedMEMSfabricationtechnolo—

gy

Measurementmethodofcuttinandull-ressstrenthofmicrobondinarea

gppgg

2012-05-11发布2012-12-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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GBT282772012

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4要求………………………2

4.1检测结构的设计要求………………2

4.2检测结构制备要求…………………4

4.3检测环境要求………………………4

5检测方法…………………5

5.1总则…………………5

5.2拉压式微结构键合强度检测…………………