GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
GB/T 17866-1999 Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysis of mask defect inspection systems
国家标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
1999-09-13
实施日期
2000-06-01
发布单位/组织
国家质量技术监督局
归口单位
由SEMI中国标准化技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
1999年09月
研制信息
- 起草单位：
- 中国科学院微电子中心
- 起草人：
- 陈宝钦、陈森锦、廖温初、刘明
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：21 千字 | 开本： 大16开
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- GB/T 37442-2019 海洋平台起重机卷筒设计方法 2019-05-10
- GB/T 37431-2019 风力发电机组 风轮叶片红外热像检测指南 2019-05-10
- GB/T 37437-2019 正面安全气囊 离位乘员保护技术要求 2019-05-10
- GB/T 37430-2019 建筑结构用高强不锈钢 2019-05-10
- GB/T 37434-2019 包装 无障碍设计 一般要求 2019-05-10
- GB/T 37432-2019 全断面隧道掘进机再制造 2019-05-10
- GB/T 37439-2019 高速铁路预制后张法预应力混凝土简支梁 2019-05-10
- GB/T 37433-2019 低功率燃油燃烧器通用技术要求 2019-05-10
- GB/T 37435-2019 热处理冷却技术要求 2019-05-10
- GB/T 37436-2019 智能运输系统 扩展型倒车辅助系统 性能要求与检测方法 2019-05-10