适用范围：范围:本文件规定了集成电路扩散设备用石英外管的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于集成电路制造工艺用12英寸及以下的集成电路扩散设备用石英外管产品; 主要技术内容:外观质量、尺寸偏差、倒角偏差、形位偏差、角度偏差、表层杂质元素含量、应力、密封面泄漏率、密封面卷边

适用范围：范围:本文件规定了半导体硅片清洗用石英槽的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标识、清洗、包装、运输和贮存。 本文件适用于半导体硅片清洗用石英槽，以下简称石英槽; 主要技术内容:材料杂质元素含量、外观质量、 尺寸偏差与形位偏差、应力、支撑棒平整度、石英喷射管出水性能、石英槽密封性能、石英槽溢流面高度

适用范围：范围:本文件规定了集成电路刻蚀设备用石英环的术语和定义、产品分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存等内容。 本文件适用于集成电路刻蚀设备用石英环; 主要技术内容:材料杂质含量、外观质量、尺寸要求、表面污染要求

适用范围：本文件规定了光纤制程用高纯石英砂的分级、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于光纤主材、光纤辅材制程用高纯石英砂，包括以天然石英矿为原料通过加工、提纯等生产工艺制备的石英砂，以及以含硅化合物为原料、采用物理、化学方法制备的合成石英砂。

适用范围：本文件规定了石英玻璃棉的代号与标记、要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存。 本文件适用于采用石英玻璃棒熔喷法生产的石英玻璃棉。

适用范围：本文件规定了等离子化学气相沉积法石英玻璃碇的分级、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于以四氯化硅等无氢含硅化合物为原料，在等离子高温火焰中气相化学反应沉积而成的石英玻璃碇。

适用范围：本文件规定了高纯不透明石英玻璃的分级,要求,试验方法,检验规则,标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体、光伏等领域具有隔热作用的高纯不透明石英玻璃材料。

适用范围：本标准规定了石英玻璃中羟基含量检验的术语和定义、试验原理、试验仪器、试样要求、试验步骤、结果计算方法与表示、检验报告。 本标准适用于石英玻璃中羟基含量的检验。

适用范围：本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆（以下简称石英玻璃晶圆)的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二极管（LED)等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。

适用范围：本标准规定了光掩模石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板)的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二级管（LED)等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。

适用范围：本标准规定了光纤拉丝用石英玻璃把持管（以下简称石英把持管）的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于光纤拉丝过程中，用来作为把持、支撑或延长作用的石英玻璃管。