GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆

ICS81.040.30

Q35

中华人民共和国国家标准

/—

GBT341772017

光刻用石英玻璃晶圆

uartzlasswaferforlithorah

Qggpy

2017-09-07发布2018-08-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—

GBT341772017

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准由中国建筑材料联合会提出。

(/)。

本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会SACTC447归口

:、、

本标准起草单位中国建材检验认证集团股份有限公司中建材衢州金格兰石英有限公司长沙韶

、、。

光铬版有限公司中国建筑材料科学研究总院国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心

:、、、、、、、、、、

本标准主要起草人吴洁王京侠王友军李弋舟花宁刘焕敏肖颂华聂兰舰张浩运杨晓会

、、。

杨学东孔敏张应语

Ⅰ

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GBT341772017

光刻用石英玻璃晶圆

1范围

()、、、、

本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆以下简称石英玻璃晶圆的术语和定义分类要求试验方法

、、。

检验规则及标志包装运输和贮存

、、()、()

本标准适用于半导体集成电路光通讯微机电系统MEMS光电器件和发光二极管LED等光

刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。

2规范性引用文件

。,

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,()。

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

/—石英玻璃化学成分分析方法

GBT32842015

/、

GBT5949透明石英玻璃气泡气线试验方法

/氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法

GBT32189

/光学石英玻璃

JCT185

/石英玻璃制品内应力检验方法

JCT655

/石英玻璃术语

JCT2205

3术语和定义

/界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

JCT2205

3.1

总厚度变化;

totalthicknessvariationTTV

石英玻璃晶圆厚度的最大值和最小值间的差。

3.2

平整度flatness

,,、

石英玻璃晶圆一个表面为理想平面时例如石英玻璃晶圆一个表面由真空吸盘吸附在一个理想

,,()。

平坦的吸盘上其另一表面相对于规定的基准面的偏差以测量范围内总的示值读数TIR表示

3.3

弯曲度bow

自由无夹持的石英玻璃晶圆中位面的中心点与中位面基准平面间的偏离。

:,。

注中位面基准平面是由指定的圆周上的三个等距离点决定的平面该圆周的直径小于石英玻璃晶圆标称直径

3.4

翘曲度war

p

自由无夹持的石英玻璃晶圆中位面相对于参照平面的最大和最小距离之差。

1

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GBT341772017

4分类

石英玻璃晶圆按纯度分为高纯石英玻璃晶圆()和普通石英玻璃晶圆()。

GCPT

5要求

5.1规格尺寸及尺寸偏差

)),、、、

5.1.1石英玻璃晶圆的形状如图1a和图1b所示常规直径为50.80mm76.20mm100.00mm

、、、。直径偏差应不超过。

125.00mm150.00mm200.00mm300.00mm±0.25mm

)带定位直边的石英玻璃晶圆外形示意图

a

)带定位角的石英玻璃晶圆外形示意图

b

说明:

———质量区;

1

2———非质量区;

d———石英玻璃晶圆直径;

l———石英玻璃晶圆定位直边长度。

图石英玻璃晶圆外形示意图

1

2

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GBT341772017

、、、、,

5.1.2常规定位直边长度为22.5mm32.5mm42.5mm47.5mm57.5mm定位直边长度偏差应不

超过±2.0mm。

+5°+0.25mm

,,。

5.1.3定位角为90°深度为1.00mm定位角顶角为圆弧状

-1°0

石英玻璃晶圆常规厚度为、、、、、、

5.1.40.525mm0.550mm0.625mm0.675mm1.000mm1.100mm

1.200mm。厚度偏差不超过±0.020mm。

石英玻璃晶圆总厚度变化应符合表的规定。

5.1.51

表总厚度变化()

1TTV

直径总厚度变化()

dTTV

mmμm

、

50.8076.20≤3

、、

100.00125.00150.00≤5

200.00≤10

300.00供需双方商定

5.2外观质量

、、。

5.2.1石英玻璃晶圆正表面背表面圆周边部与定位直边边部应抛光