GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板
GB/T 34178-2017 Silica glass substrates for photomask
国家标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2017-09-07
实施日期
2018-08-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC447)
适用范围
本标准规定了光掩模石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板)的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二级管（LED)等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。
发布历史
-
2017年09月
研制信息
- 起草单位：
- 中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、长沙韶光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心
- 起草人：
- 吴洁、王京侠、王友军、李弋舟、花宁、刘焕敏、肖颂华、聂兰舰、张浩运、杨晓会、杨学东、孔敏、张应语
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：22 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS81.040.30
Q35
中华人民共和国国家标准
/—
GBT341782017
光掩模石英玻璃基板
Silicalasssubstratesforhotomask
gp
2017-09-07发布2018-08-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
/—
GBT341782017
前言
本标准按照/—给出的规则起草。
GBT1.12009
本标准由中国建筑材料联合会提出。
(/)。
本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准
定制服务
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