GB/T 43915-2024 纳米几何量标准样板测试方法

ICS17.040.30

CCSJ42

中华人民共和国国家标准

/—

GBT439152024

纳米几何量标准样板测试方法

Testinmethodfornanoeometricstandardsamles

ggp

2024-04-25发布2024-11-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT439152024

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4测试方法分类及原理……………………1

4.1纳米线间隔标准样板测试方法分类及原理………1

4.2纳米线宽标准样板测试方法分类及原理…………2

4.3纳米台阶高度标准样板测试方法分类及原理……………………2

4.4纳米膜厚标准样板测试方法分类及原理…………3

5测试设备…………………5

5.1设备选择……………5

5.2设备要求……………5

6测试环境…………………6

7测试程序…………………6

7.1外观…………………6

7.2纳米线间隔标准样板测试…………6

7.3纳米线宽标准样板测试……………6

7.4纳米台阶高度标准样板测试………………………6

7.5纳米膜厚标准样板测试……………7

8测试数据处理……………7

8.1纳米线间隔标准样板测试数据处理………………7

8.2纳米线宽标准样板测试数据处理…………………7

8.3纳米台阶高度标准样板测试数据处理……………7

8.4纳米膜厚标准样板测试数据处理…………………7

()……………………

附录资料性标准样板测试记录

A9

参考文献……………………10

Ⅰ

/—

GBT439152024

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

,。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

(/)。

本文件由全国量具量仪标准化技术委员会SACTC132归口

:、、

本文件起草单位中国电子科技集团公司第十三研究所成都工具研究所有限公司中国航空工业

、、、、

集团公司北京长城计量测试技术研究所上海计量测试技术研究院同济大学天津大学中国计量科学

、、、。

研究院广西壮族自治区计量检测研究院中国测试技术研究院苏州天准科技股份有限公司

:、、、、、、、、、

本文件主要起草人吴爱华付兴昌李锁印许晓青邹学锋韩志国赵琳张晓东冯亚南

、、、、、、、、、、、、、、

梁法国许刚何宜鲜朱振宇李强万宇雷李华傅云霞曾艳华管钰晴邓晓刘庆纲张恒施玉书

、、。

苏翼雄冉庆曹葵康

Ⅲ

/—

GBT439152024

纳米几何量标准样板测试方法

1范围

、、、

本文件规定了纳米几何量标准样板测试方法的分类及原理测试设备测试环境测试程序及测试

数据处理。

、

本文件适用于线间隔为50nm~100nm的纳米线间隔标准样板线宽为20nm~100nm的纳米线

、

宽标准样板台阶高度为10nm~100nm的纳米台阶高度标准样板和薄膜厚度为2nm~100nm的纳

米膜厚标准样板的测试。

:。

注其他尺寸范围的几何量样板参照本文件执行

2规范性引用文件

。,

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

,;,()

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

本文件。

/几何量测量器具术语基本术语

GBT17163

/—()

GBT395162020微纳米标准样板几何量

3术语和定义

/、/—界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

GBT17163GBT395162020

3.1

纳米几何量标准样板nanoeometricstandards

g

、、,

具有纳米尺度的线间隔线宽台阶高度及薄膜厚度等几何特征结构用于纳米尺寸测量的标准

样板。

4测试方法分类及原理

4.1纳米线间隔标准样板测试方法分类及原理

4.1.1纳米线间隔标准样板测试方法分类

测试方法分为以下两类:

)电子显微镜法;

a

)扫描探针法。

b

4.1.2电子显微镜法测试原理

、,、

利用经聚焦的具有一定能量的电子束在标准样板表面扫描可激发出二次电子背反射电子等各

,,。

种信号图像采集系统和数据处理系统将这些信号接收处理之后即得到标准样板的特征信息电子显

微镜法测试原理见图1。

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