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GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

GB/T 31351-2014 Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers

国家标准 中文简体 现行 页数：6页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 31351-2014
相关服务
商用授权
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H26 金属无损检验方法
国际标准分类号（ICS）
77.040.99 金属材料的其他试验方法
发布日期
2014-12-31
实施日期
2015-09-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本标准规定了4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片的微管密度的无损检测方法。
本标准适用于4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片经单面抛光或双面抛光后、微管的径向尺寸在一微米至几十微米范围内的微管密度的测量。

发布历史

文前页预览

GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法-第1页
GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法-第2页
GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法-第3页
GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法-第4页

研制信息

起草单位：
北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所
起草人：
陈小龙、郑红军、张玮、郭钰、刘振洲
出版信息：
页数：6页 | 字数：8 千字 | 开本： 大16开

内容描述

ICS77.040.99

H26

中华人民共和国国家标准

/—

GBT313512014

碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

Nondestructivetestmethodformicroiedensitof

ppy

olishedmonocrstallinesiliconcarbidewafers

py

2014-12-31发布2015-09-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

中华人民共和国

国家标准

碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

/—

GBT313512014

*

中国标准出版社出版发行

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