GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫
GB/T 18867-2014 Gases for electronic industry—Sulphur hexaflouride
国家标准
中文简体
现行
页数：9页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2014-12-22
实施日期
2015-07-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。分子式：SF6。相对分子质量：146.0564192（按2007年国际相对原子质量计算）。
发布历史
-
2002年10月
-
2014年12月
-
2025年04月
研制信息
- 起草单位：
- 黎明化工研究设计院有限责任公司、成都科美特氟业塑胶有限公司、青海信禾高精化工有限公司、佛山市华特气体有限公司、四川众力氟业有限责任公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、四川中测标物科技有限公司、上海仪盟电子科技有限公司、光明化工研究设计院、上海基量标准气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司、核工业理化工程研究院华核新技术开发公司
- 起草人：
- 黄晓磊、牛学坤、赖明贵、傅涛、刘长庆、任清贵、史淑慧、方正、廖恒易、李晓明、曲庆、杨任、常侠、杨遂平、邓建平、方华、周鹏云
- 出版信息：
- 页数：9页 | 字数：17 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS71.100.20
G86
中华人民共和国国家标准
/—
GBT188672014
代替/—
GBT188672002
电子工业用气体六氟化硫
—
GasesforelectronicindustrSulhurhexaflouride
yp
2014-12-22发布2015-07-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
/—
GBT188672014
前言
本标准按照/—给出的规则起草。
GBT1.12009
。。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任
/—《》。/—,
本标准代替电子工业用气体六氟化硫与相比除编
GBT188672002GBT188672002
辑性修改外主要技术变化如下:
———(,);
修改了范围见第章年版的第章
120021
———(,);
修改了规范性引用文件见第章年版的第章
220022
———(,
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