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GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法

GB/T 38446-2020 Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films

国家标准 中文简体 现行 页数：13页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 38446-2020
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L55/59 微电路
国际标准分类号（ICS）
31.200 集成电路、微电子学
发布日期
2020-03-06
实施日期
2020-10-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。本标准适用于厚度在50 nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。

发布历史

文前页预览

GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法-第1页
GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法-第2页
GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法-第3页
GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法-第4页

研制信息

起草单位：
北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司
起草人：
张威、李海斌、张亚婷、朱悦、夏长奉、石云波、陈得民、马书嫏、程红兵、周浩楠
出版信息：
页数：13页 | 字数：22 千字 | 开本： 大16开

内容描述

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