1. 当前位置：
  2. 首页 >
  3. 行业标准 >
  4. SJ/T 11829.2-2022

SJ/T 11829.2-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第2部分：板式PECVD设备

SJ/T 11829.2-2022 Plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) equipment for crystalline silicon photovoltaic cells - Part 2: Platen PECVD equipment

行业标准-电子 简体中文 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
SJ/T 11829.2-2022
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L95/99 电子工业生产设备
国际标准分类号（ICS）
31.550 电子产品生产设备
发布日期
2022-10-20
实施日期
2023-01-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
-
适用范围
-

发布历史

文前页预览

当前资源暂不支持预览

研制信息

起草单位：
起草人：
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

推荐标准

关联标准

同系列标准
SJ 11829 第1部分
SJ/T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式PECVD设备
第1部分 现行

相似标准推荐

更多>