SJ/T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式PECVD设备
SJ/T 11829.1-2022
行业标准-电子
简体中文
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
SJ/T 11829.1-2022
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
发布日期
2022-10-20
实施日期
2023-01-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
-
2022年10月
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研制信息
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- 起草人：
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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