YS/T 792-2012 单晶炉用碳/碳复合材料坩埚

ICS29.045

H83

中华人民共和国有色金属行业标准

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YST7922012

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单晶炉用碳碳复合材料坩埚

Carbon-carboncomositescrucibleusedinsinlecrstalfurnace

pgy

2012-11-07发布2013-03-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

/—

YST7922012

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

(/)。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会SACTC243归口

:、、

本标准负责起草单位湖南金博复合材料科技有限公司洛阳单晶硅有限责任公司上海九晶电子

、。

材料股份有限公司常州天合光能有限公司

:、、、、、、、、、、

本标准主要起草人廖寄乔邰卫平王跃军吴书哓王文卫史舸戴瑞麟黄振飞李军龚玉良

、。

王丽瞿雪林

Ⅰ

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YST7922012

/

单晶炉用碳碳复合材料坩埚

1范围

/、、、、、

本标准规定了单晶拉制炉用碳碳复合材料坩埚的要求试验方法检测规则及标志包装运输贮

、()。

存质量说明书和合同或订货单内容

/,

本标准适用于半导体领域单晶拉制炉用碳碳复合材料坩埚也适用于其他高温炉提纯多晶硅和冶

/。

炼金属用碳碳复合材料坩埚

2规范性引用文件

。,

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,()。

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

/一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差

GBT1804

/:()

计数抽样检验程序第部分按接收质量限检索的逐批检验抽样计划

GBT2828.11AQL

/石墨电极测定方法石墨电极热膨胀系数()测定方法

GBT3074.4CTE

/()、

烧结金属材料不包括硬质合金可渗性烧结金属材料密度含油率和开孔率的

GBT5163

测定

/闪光法测量热扩散系数或导热系数

GBT22588

/高纯石墨制品灰分的测定

YBT5146

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

表观密度aarentdensit

ppy

制品烘干后的质量与其体积之比。

4要求

4.1产品分类

/,、、、。

4.1.1碳碳复合材料坩埚按内径大小分为不同的规格其常见的规格代号有41465156四种规格

/,

4.1.2碳碳复合材料坩埚按结构分为整体式坩埚和分体式坩埚分体式坩埚常见的三种型式分别为

、。。

活动底分体式上下分体式和三体分体式图和图分别为整体式坩埚和分体式坩埚示意图

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