GB/T 43965-2024 电子级正硅酸乙酯
GB/T 43965-2024 Electronic grade ethyl orthosilicate
基本信息
发布历史
-
2024年04月
文前页预览
研制信息
- 起草单位：
- 金宏气体股份有限公司、湖北新蓝天新材料股份有限公司、武汉新硅科技潜江有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、浙江中宁硅业股份有限公司、内蒙古兴洋科技股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、浙江衢州硅宝化工有限公司、湖北江瀚新材料股份有限公司、浙江开化合成材料有限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司
- 起草人：
- 孙猛、金向华、赵俊莎、肖俊平、李楷东、吴怡然、曹可慰、赵斌、陶刚义、孙明璐、陈德义、冯琼华、向冲、王成、黄天次、万烨、张园园、郭树虎、戈士勇、戈烨铭、何珂、李冲合、甘俊、陈道伟、张明英
- 出版信息：
- 页数：20页 | 字数：23 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS31.030
CCSL90
中华人民共和国国家标准
/—
GBT439652024
电子级正硅酸乙酯
Electronicradeethlorthosilicate
gy
2024-04-25发布2024-11-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—
GBT439652024
前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GBT1.120201
起草。
。。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)提出并归口。
SACTC203
:、、
本文件起草单位金宏气体股份有限公司湖北新蓝天新材料股份有限公司武汉新硅科技潜江有
、、、、
限公司江苏南大光电材料股份有限公司南大光电半导体材料有限公司中国电子技术标准化研究院
、、、
浙江中宁硅业股份有限公司内蒙古兴洋科技股份有限公司洛阳中硅高科技有限公司江阴润玛电子
、、、
材料股份有限公司浙江衢州硅宝化工有限公司湖北江瀚新材料股份有限公司浙江开化合成材料有
、。
限公司广州赛西标准检测研究院有限公司
:、、、、、、、、、、
本文件主要起草人孙猛金向华赵俊莎肖俊平李楷东吴怡然曹可慰赵斌陶刚义孙明璐
、、、、、、、、、、、、、、
陈德义冯琼华向冲王成黄天次万烨张园园郭树虎戈士勇戈烨铭何珂李冲合甘俊陈道伟
张明英。
Ⅰ
/—
GBT439652024
电子级正硅酸乙酯
1范围
、、、、、
本文件规定了半导体行业用电子级正硅酸乙酯的技术要求检验规则型式试验标志包装运输
,、。
及贮存的要求描述了试验方法分析方法与测定结果评价
本文件适用于沉积二氧化硅的电子级正硅酸乙酯。
2规范性引用文件
。,
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文
,;,()
件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于
本文件。
GB190危险货物包装标志
/包装储运图示标志
GBT191
/:()
计数抽样检验程序第部分按接收质量限检索的逐批检验抽样计划
GBT2828.11AQL
/液体化学产品颜色测定法(单位———铂钴色号)
GBT3143Hazen-
/工业用化学产品采样安全通则
GBT3723
/()
所有部分钢质无缝气瓶
GBT5099
/液体化工产品采样通则
GBT6680
/气瓶颜色标志
GBT7144
/电子级水
GBT11446.1
/液化气体气瓶充装规定
GBT14193
GB15258化学品安全标签编写规定
/气瓶警示标签
GBT16804
/:
洁净室及相关受控环境第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级
GBT25915.11
/库仑法微量水分测定仪
GBT26793
/大容积钢质无缝气瓶
GBT33145
/四极杆电感耦合等离子体质谱方法通则
GBT37837
/电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则
SJT11637
/电子化学品中颗粒的测试方法
SJT11638
TSG23气瓶安全技术规程
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4技术要求
电子级正硅酸乙酯应符合表的规定。
1
1
推荐标准
- GB/T 14352.8-2010 钨矿石、钼矿石化学分析方法 第8部分：镍量测定 2010-11-10
- GB/T 14353.11-2010 铜矿石、铅矿石和锌矿石化学分析方法 第11部分：银量测定 2010-11-10
- GB/T 14353.1-2010 铜矿石、铅矿石和锌矿石化学分析方法 第1部分：铜量测定 2010-11-10
- GB/T 14352.6-2010 钨矿石、钼矿石化学分析方法 第6部分：镉量测定 2010-11-10
- GB/T 14352.3-2010 钨矿石、钼矿石化学分析方法 第3部分：铜量测定 2010-11-10
- GB/T 14353.10-2010 铜矿石、铅矿石和锌矿石化学分析方法 第10部分：钨量测定 2010-11-10
- GB/T 14352.5-2010 钨矿石、钼矿石化学分析方法 第5部分：锌量测定 2010-11-10
- GB/T 14352.7-2010 钨矿石、钼矿石化学分析方法 第7部分：钴量测定 2010-11-10
- GB/T 14353.12-2010 铜矿石、铅矿石和锌矿石化学分析方法 第12部分：硫量测定 2010-11-10
- GB/T 14352.4-2010 钨矿石、钼矿石化学分析方法 第4部分：铅量测定 2010-11-10