GB/T 14851-1993 电子工业用气体 磷化氢
GB/T 14851-1993 Gas for electronic industry—Phosphine
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
1993-12-30
实施日期
1994-10-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
化学工业部西南化工研究院
适用范围
-
发布历史
-
1993年12月
-
2009年10月
-
2025年03月
研制信息
- 起草单位：
- 化学工业部光明化工研究所
- 起草人：
- 吕多俊
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：22 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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