GB/T 34893-2017 微机电系统(MEMS)技术基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

GB/T 34893-2017 Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

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基本信息

标准号

GB/T 34893-2017

发布历史

2017年11月

GB/T 34893-2017　微机电系统(MEMS)技术基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

当前标准现行 2017-11-01

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研制信息

起草单位：: 天津大学、中机生产力促进中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、南京理工大学中国电子科技集团公司第十三研究所

起草人：: 胡晓东、郭彤、于振毅、李海斌、程红兵、裘安萍、崔波、朱悦

出版信息：: 页数：9页 | 字数：14 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS31.200

L55

中华人民共和国国家标准

/—

GBT348932017

微机电系统()技术

MEMS

基于光学干涉的MEMS微结构

面内长度测量方法

Micro-electromechanicalsstemtechnolo—

ygy

Measurinmethodforin-lanelenthmeasurementsofMEMSmicrostructures

gpg

usinanoticalinterferometer

2017-11-01发布2018-05-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—

GBT348932017

前言…………………………Ⅰ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4测量方法………………

定制服务

关联标准

引用标准

GB/T 3505

GB/T 3505-2009 产品几何技术规范(GPS) 表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数

现行

GB/T 3505-2000 产品几何技术规范表面结构轮廓法表面结构的术语、定义及参数

被代替

GB/T 26111

GB/T 26111-2023 微机电系统(MEMS)技术术语

现行

GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术术语

被代替

GB/T 26113

GB/T 26113-2010 微机电系统(MEMS)技术微几何量评定总则

现行

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