GB/T 14141-1993 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
GB/T 14141-1993 Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
1993-02-06
实施日期
1993-10-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
-
1993年02月
-
2009年10月
研制信息
- 起草单位：
- 峨眉半导体材料研究所
- 起草人：
- 张新、郑绪明
- 出版信息：
- 页数：5页 | 字数：9 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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