GB/T 13742-1992 光学传递函数测量准确度

UDC535.3，53.08

N33

G-8

中华人民共和国国家标准

cs/T13742一92

光学传递函数测量准确度

Opticaltranserfunction-accuracy

ofmeasurement

1992门1一04发布1993一08一01实施

国家技刁C监督局发布

中华人民共和国国家标准

GBfT13742一92

光学传递函数测量准确度

Opticaltranserfunction-accuracyofmeasurement

1主题内容与适用范围

本标准规定了对光学传递函数测量装置的性能和准确度进行评价的导则，并提出了光学传递函数

测量中的主要误差来源、误差的检验方法、误差计算、测量准确度等。

本标准适用于各种光学传递函数测量装置。

2弓1用标准

GB4315.1光学传递函数术语符号

GB4315.2光学传递函数测量导则

3测I装置的误差来源

3.1光学台的几何条件

光学台用于安放“测试图样”、被“测样品”以及像“分析器”，使它们处于正确的几何关系下(即:由选

择的成像状态来定义)。为了满足正确的几何关系，通常要靠导轨的直线性、导轨之间的垂直度、或被测

样品相对于参考面之间的平行度以及角度标尺的准确度来保证。否则，将导致对理想的成像状态的偏

离，引起光学传递函数的测量误差。

光学台几何参数对测量准确度的影响取决于所采用的测量布局，下面所列为GB4315.2所推荐的

测量布局中的主要误差源及产生的MTF偏差。

3.1.1物和像均处于有限远

测试图样和像分析器的导轨必须垂直于“参考轴”。直线度和垂直度偏差将造成对理想像面的偏离，

从而导致MTF测量误差。

由像高以及物像距的装定所带来的误差也会对MTF测量产生影响.

3.1.2物处于无限远

此种状态下只有像方(或物方)导轨相对于理想像面的偏离和像高或视场角的装定误差会对MrF

测量产生影响。

若使用准直物镜，还存在物方无限远的调整误差.

若未使用准直物镜，而是采用加长物距来近似无限远的情况下，必须保证足够远的物距，至少在镜

头的5。倍焦距以上(除非特殊规定)。否则，将造成较大的MTF偏差。

3.1.3物和像均处于无限远

此种状态下，当改变像方视场角时，惊方准直管必须与像分析器连动，并绕一个通过出瞳、且垂直于

参考轴的轴线旋转，以保证像分析器与无焦系统之间不产生横向偏移，从而不产生由于工作焦点随像方

角度改变而带来的MTF误差。

如果所采用的测量布局无法保证上述要求，或者由于支撑无焦系统和像分析器的聚焦导轨自身的

国家技术监督局1992一11一04批准1993一08一01实施

GB/T13742一92

机械弯曲而造成它们之间相对关系的改变，则将产生MTF误差。

由于视场角的装定以及无限远物距的调整也会产生MTF偏差。

3.1-4像增强器以及其他屏幕成像系统

测觉这类系统的一个通用的方法，是在像和(或)物平面内的每一个测试位置都重新调焦使测试目

标调焦到物面或像而调焦到像分析器。这样可以消除由机械误差引起的调焦误差。

11-5被测样品的安装

每次测ht中，由于被测样品的拿下和装上会导致测量结果的变化。主要影响是使你面产生倾斜(见

图1).倾斜角8对MTF造成的误差不容忽视，B角的大小应视对N[TF测母准确度的要求推荐数据为

8(3X10，

安装定位面

像方视场导软法兰盘

一

图1被侧镜头女装时的“0’’误差示意

3-2改变方位

在多数OTF测量装置中.都是通过旋转测试图样和像分析器来改变方位。测试图样或像分析器在

沿旋转轴方向产生的位移会造成焦点位置的改变，由于焦点位置的改变而带来的MTF误差，将由于测

量布局的不同而异。

3-3物方图样和像方图样的定位对中

如果物方图样和像方图样为非圆对称，则应重视它们的相对定位。其图样为垂直于扫描方向的狭

缝。两者之间的(见图2)角位移a将导致狭缝宽度的增大，产生MTF误差

对有些装置来说.采用光栅和狭缝的组合产生周期目标，其空问频率可以通过改变光栅相对于狭缝

的位W-而变化。空间频率误差来自光栅和狭缝的相对定位差。这种情况下，用户应自行作出评价(见3.6

空}司频率误差)。

侠缝有效宽度w-lsina

图2分析器狭缝与测试图样之间的相对定位误差示意

GB/T13742一92

3.4修正因子

由于测量装置中存在着一些固有误差，如:目标狭缝或像分析器狭缝的有限宽度、非相干藕合的中

继透镜的MTF，轴外测量时儿何条件对空间频率的影响(见GB4315.2)等.在MTF测量结果中应使用

修正因子。

3.4.1狭缝宽度的修正

MTF(r)二K(r)MTF'(r)

而K(r)=nrg/sinnzrg:;;

式中:9—物方的狭缝宽度，mm;

K(r)—修正因子。

当狭缝宽度存在误差时，将导致MTF误差。

AMTF(r)=MTF'(r)(nrdg'/siinrg)(1-nrg'八garg')”····……(3