GB/T 28892-2024 表面化学分析 X射线光电子能谱 选择仪器性能参数的表述

ICS71.040.40

CCSG04

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT288922024ISO154702017

代替/—

GBT288922012

表面化学分析X射线光电子能谱

选择仪器性能参数的表述

——

SurfacechemicalanalsisX-rahotoelectronsectrosco

yypppy

Descritionofselectedinstrumentalerformancearameters

ppp

(:,)

ISO154702017IDT

2024-03-15发布2024-07-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—/:

GBT288922024ISO154702017

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4缩略语……………………1

5选择仪器性能参数的表述………………1

5.1分析方法……………1

5.2样品…………………1

5.3系统构成……………1

5.4X射线源……………2

5.5谱仪强度性能和能量分辨…………2

5.6谱仪能量标…………………………2

5.7谱仪强度线性………………………2

5.8谱仪响应函数………………………2

5.9成像和选区分辨……………………2

5.10荷电中和……………3

5.11变角XPS…………………………3

5.12真空环境……………4

参考文献………………………5

Ⅰ

/—/:

GBT288922024ISO154702017

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

本文件代替/—《表面化学分析射线光电子能谱选择仪器性能参数的表

GBT288922012X

》,/—,,:

述与GBT288922012相比除结构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

)(,);

更改了术语和定义见第章年版的第章

a320123

)(,)。

更改了方法见年版的

b25.9.320125.9.3

本文件等同采用:《表面化学分析射线光电子能谱选择仪器性能参数的表

ISO154702017X

述》。

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由全国微束分析标准化技术委员会(/)提出并归口。

SACTC38

:、。

本文件起草单位厦门荷清教育咨询有限公司厦门大学

:、、、、、。

本文件主要起草人汤丁亮李建辉徐富春岑丹霞刘芬王水菊

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为:

———/—;

GBT288922012

———本次为第一次修订。

Ⅲ

/—/:

GBT288922024ISO154702017

引言

。

全球有多家厂商生产射线光电子能谱仪尽管每台仪器的分析方法的基本原理是相同

XXPS

,。,。

的但仪器的具体设计和性能说明的方式各不相同因此通常很难比较不同厂商生产的仪器性能本

,。

文件提供了一个基本项目单以使所有射线光电子能谱仪能以共同的方式来表述本文件无意取代

X

,。

厂商的说明书厂商的说明书可以长达页或更多本文件目的是使厂商说明书中确定的某些项目具

30

有一致和明确的含义。

Ⅳ

/—/:

GBT288922024ISO154702017

表面化学分析X射线光电子能谱

选择仪器性能参数的表述

1范围

本文件描述了表述射线光电子能谱仪特定性能参数的方法。

X

2规范性引用文件

。,

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

,;,()

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

本文件。

()()

所有部分表面化学分析词汇

ISO18115Surfacechemicalanalsis-Vocabular

yy

:/—:(:,)

注表面化学分析词汇第部分通用术语及谱学术语

GBT22461.120231ISO18115-12013IDT

/—:(:,)

表面化学分析词汇第部分扫描探针显微术术语

GBT22461.220232ISO18115-22021MOD

3术语和定义

()。

ISO18115所有部分界定的术语和定义适用于本文件

4缩略语

下列缩略语适用于本文件。

:()

FWHM半高峰宽Fullwidthathalfmaximum

:射线光电子能谱()

XPSXX-rahotoelectronsectrosco

ypppy

5选择仪器性能参数的表述

5.1分析方法

,。

应简要叙述用于从样品获得信息的方法并应说明在所考虑的系统中可选择的其他分析技术

5.2样品

。(、

应给出规范运行的仪器可以分析的样品大小和形状如果某些特殊的分析模式例如变角测量绝

),。

缘体测量等对样品大小或形状有限制应详细说明

5.3系统构成

应描述系统重要分析部件的设计几何结构及其公差。

:。

示例角度公差常为±1°

1