• T/CI 334-2024 半导体设备隔振系统设计及技术要求 现行
    译:T/CI 334-2024 Design and technical requirements for vibration isolation system for semiconductor equipment
    适用范围:主要技术内容:本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。本文件中仪器本身被视为系统中已确定的载荷
    【国际标准分类号(ICS)】 :39.020精密机械 【中国标准分类号(CCS)】 :L56半导体集成电路
    发布单位或类别:(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间: 2024-04-18 | 实施时间: 2024-04-18
  • T/CASME 590-2023 分布式反馈激光器 现行
    译:T/CASME 590-2023 Distributed Feedback Laser (DFL)
    适用范围:范围:本文件适用于分布式反馈激光器的制造和运行管理过程; 主要技术内容:本文件规定了分布式反馈激光器的技术要求、测试检验、标志、包装、运输和贮存等方面的内容
    【国际标准分类号(ICS)】 :39.020精密机械 【中国标准分类号(CCS)】 :L电子元器件与信息技术
    发布单位或类别:(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间: 2023-07-28 | 实施时间: 2023-08-01