国际标准分类(ICS)
19 试验
25 机械制造
29 电气工程
31 电子学
37 成像技术
45 铁路工程
61 服装工业
65 农业
67 食品技术
71 化工技术
77 冶金
79 木材技术
85 造纸技术
93 土木工程
95 军事工程
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现行
译：T/CESA 1081-2020 Semiconductor integrated circuit manufacturing industry, wafers, and green factory evaluation requirements适用范围：主要技术内容:本标准规定了半导体集成电路制造业晶圆绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序等。本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产品实际生产过程的工厂进行评价，其他类型集成电路产品生产制造工厂也可参考使用【国际标准分类号(ICS)】 ：13.020.01环境和环境保护综合 【中国标准分类号(CCS)】 ：L55/59微电路发布单位或类别：(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间： 2020-06-20 | 实施时间： 2020-06-20收藏