• GB/T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法 现行
    译:GB/T 38614-2020 Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator
    适用范围:本标准规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台(以下简称为平台)的测量条件、测量系统和测量方法。本标准适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用。
    【国际标准分类号(ICS)】 :01.040.39精密机械、珠宝 (词汇) 【中国标准分类号(CCS)】 :N10/19工业自动化仪表与控制装置
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2020-04-28 | 实施时间: 2020-11-01
  • GB/T 38616-2020 纳米定位与扫描平台术语 现行
    译:GB/T 38616-2020 Terminology for nano positioning and scanning stage
    适用范围:本标准界定了纳米定位与扫描平台(以下简称平台)的术语定义。本标准适用于纳米定位与扫描平台产品参数的定义。
    【国际标准分类号(ICS)】 :01.040.39精密机械、珠宝 (词汇) 【中国标准分类号(CCS)】 :N10/19工业自动化仪表与控制装置
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2020-04-28 | 实施时间: 2020-11-01